[实用新型]可消除火焰水解缺陷的沉积装置

权利要求书

1.一种可消除火焰水解缺陷的沉积装置，其特征在于，作为在腔室内将化学反应气体水解发生二氧化硅粒子而在晶圆片上沉积硅膜的可消除火焰水解缺陷的沉积装置，包括：

所述晶圆片和用于装配晶圆片使其旋转的转台、以隔板分隔形成于隔板两旁的两个以上腔室；

位于所述两个以上腔室内部的中心上部并包括使含氧气和氢气的燃气反应产生火焰的喷炬、所述喷炬被装配在反应部的喷炬臂上以及驱动喷炬臂旋转的电机；

将通过所述燃气反应产生并未沉积在晶圆片上的硅粒子吸入排出的吸入排出装置；

配备于所述腔室的一侧，利用激光组测定晶圆片沉积厚度的激光测定装置部。

2.根据权利要求1所述的可消除火焰水解缺陷的沉积装置，其特征在于，所述反应部的喷炬臂包括：

装配在电机上部面与所述电机上部面的旋转同一方向旋转的安放部；

在所述安放部的中心延长形成的延长部；

以及与所述延长部一侧形成一体，且末端部上形成与所述喷炬对应的中空部的接合部；

所述喷炬在中空部以可拆卸的形态被插入接合。

3.根据权利要求1所述的可消除火焰水解缺陷的沉积装置，其特征在于，所述喷炬的横向剖面以同心圆形成，最外侧外周面上具备两个凸块，在喷炬的下端部分装配凸块可以防止喷炬滑落，且用于设置离地面的标准高度。

4.根据权利要求1所述的可消除火焰水解缺陷的沉积装置，其特征在于，在所述喷炬外侧外周面上依次设置多个注入口并装配软管以限制由于振动而发生的移动，所述注入口和软管是使用注入气体的“L”状特富龙弯管接头连接，所述注入口为了使特富龙弯管接头顺利插入而为“一”字形。

5.根据权利要求1所述的可消除火焰水解缺陷的沉积装置，其特征在于，包括：

为测定所述晶圆片的沉积厚度而与所述腔室联动的反应室，其位于腔室一侧，所述转台横跨反应室和腔室两个空间旋转，并利用激光组测定晶圆片沉积厚度的实际测定值而使晶圆片按所设定的厚度设定值进行沉积的激光测定装置部。

6.根据权利要求5所述的可消除火焰水解缺陷的沉积装置，其特征在于，所述激光测定装置部的一侧还具备显示晶圆片实时沉积厚度的装置。