[实用新型]蚀刻装置有效
| 申请号： | 201720153167.0 | 申请日： | 2017-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN206541089U | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 廖文晟 | 申请（专利权）人： | 东旭（昆山）显示材料有限公司;东旭集团有限公司;东旭科技集团有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司11283 | 代理人： | 乔雪微,严政 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆山市开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 装置 | ||
1.一种蚀刻装置，该蚀刻装置包括：
蚀刻区(1)，该蚀刻区(1)允许待蚀刻物件在其中进行蚀刻处理，且该蚀刻区(1)的上部呈突起状，所述突起的外侧面与所述蚀刻装置的外壁内侧是间隔开的；
水封区(2)，该水封区(2)由所述蚀刻装置的外壁内侧、所述突起的外侧面和所述蚀刻区(1)的顶部所形成，该水封区(2)用于捕获由所述蚀刻区(1)外逸的蚀刻液和/或蚀刻气。
2.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述突起为锥体状、圆柱状或多面体状。
3.根据权利要求1所述的蚀刻装置，其特征在于，所述水封区(2)通过流体入口(3)和流体出口(4)被持续的供给用于捕获外漏的蚀刻液和/或蚀刻气的流体。
4.根据权利要求3所述的蚀刻装置，其特征在于，所述水封区(2)还包括溢流口(5)，该溢流口(5)用于外排过量的流体，以使得所述水封区(2)内的流体的高度等于或低于所述突起的高度。
5.根据权利要求1-4中任意一项所述的蚀刻装置，其特征在于，所述水封区(2)还包括抽气孔(21)，该抽气孔(21)用于外排由所述蚀刻区(1)外逸的蚀刻气和/或蚀刻液，且其高度高于水封区(2)中流体的高度。
6.根据权利要求1-4中任意一项所述的蚀刻装置，其特征在于，所述蚀刻装置还包括内盖(6)，该内盖(6)用于封闭位于所述蚀刻区(1)上部突起的开口。
7.根据权利要求6所述的蚀刻装置，其特征在于，所述内盖(6)是蚀刻气和/或蚀刻液可透过的。
8.根据权利要求1-4中任意一项所述的蚀刻装置，其特征在于，所述蚀刻装置还包括外盖(7)，该外盖(7)用于封闭及气密整个蚀刻装置。
9.根据权利要求8所述的蚀刻装置，其特征在于，所述外盖(7)是蚀刻气和/或蚀刻液不可透过的。
10.根据权利要求8所述的蚀刻装置，其特征在于，所述外盖(7)呈水平状或中间高两端低的折角状。
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