[实用新型]蚀刻装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及电子工业领域，具体地，涉及一种用于蚀刻处理的蚀刻装置。

背景技术

许多电子产品例如电视、移动电话、冰箱或甚至在汽车中都可见与平板显示器的搭配应用。液晶显示面板由于具有良好的显示及触控质量以及相对较低的成本，目前已成为平板显示器的主流产品。一般来说，液晶显示及触控面板需经由一至二道蚀刻工艺，完成导电线路成型的工艺。蚀刻机使用的频度极高，各大面板厂在蚀刻房建制成本逐步提升。因此，对于作为蚀刻液的酸液气的腐蚀性防护处理，显的格外重要。

因此，亟需这样的一种蚀刻装置，其能够有效避免酸蚀刻液和/或蚀刻气外泄，从而避免对人员可能发生的伤害及蚀刻房锈蚀。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了提供一种能够有效避免蚀刻过程中蚀刻液和/ 或蚀刻气，例如，酸和/或酸气，外泄的技术方案。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种蚀刻装置，该蚀刻装置包括：

蚀刻区，该蚀刻区允许待蚀刻物件在其中进行蚀刻处理，且该蚀刻区的上部呈突起状，所述突起的外侧面与所述蚀刻装置的外壁内侧是间隔开的；

水封区，该水封区由所述蚀刻装置的外壁内侧、所述突起的外侧面和所述蚀刻区的顶部所形成，该水封区用于捕获由所述蚀刻区外逸的蚀刻液和/或蚀刻气。

优选的，所述突起为锥体状、圆柱状或多面体状。

优选的，所述水封区通过流体入口和流体出口被持续的供给用于捕获外漏的蚀刻液和/或蚀刻气的流体。

优选的，所述水封区还包括溢流出口，该溢流出口用于外排过量的流体，以使得所述水封区内的流体的高度等于或低于所述突起的高度。

优选的，所述水封区还包括抽气孔，该抽气孔用于外排由所述蚀刻区外逸的蚀刻气和/或蚀刻液，且其高度高于水封区中流体的高度。

优选的，所述蚀刻装置还包括内盖，该内盖用于封闭位于所述蚀刻区上部突起的开口。

优选的，所述内盖是蚀刻气和/或蚀刻液可透过的。

优选的，所述蚀刻装置还包括外盖，该外盖用于封闭整个蚀刻装置。

优选的，所述外盖是蚀刻气和/或蚀刻液不可透过的。

优选的，所述外盖呈水平状或中间高两端低的折角状。

通过在蚀刻装置中设置水封区，在刻蚀机启动之后，在所述水封区内持续补给能够捕获蚀刻液和/或蚀刻气的流体并将捕获的蚀刻液和/或蚀刻气送至待处理处，可有效避免蚀刻液和/或蚀刻气外泄到蚀刻房里，造成污染锈蚀。优选的情况下，在水封区高于流体的位置，设置一抽风口，将蚀刻装置中剩余的蚀刻液和/或蚀刻气持续抽离，可进一步降低蚀刻液和/或蚀刻气的外逸。

本实用新型的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是根据本实用新型一种实施方式的蚀刻装置的示意图。

附图标记说明

1 蚀刻区2 水封区21抽气孔

3 流体入口4 流体出口5 溢流口

6 内盖7 外盖

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

在本实用新型中，在未作相反说明的情况下，使用的术语如：

“上部”是指蚀刻装置水平放置时，蚀刻区1水平线最高处所形成的突起；

“突起的外侧面”是指突起部位背离蚀刻区1而面向水封区2的侧面；

“蚀刻装置的外壁内侧”是指蚀刻装置外壳的内侧，也即，面向水封区2或是蚀刻区1的一面；

“蚀刻区1的顶部”是指蚀刻区1未与蚀刻装置的外壁内侧间隔开的部分的水平线最高处。

如图1所示，本实用新型提供了一种蚀刻装置，该蚀刻装置包括蚀刻区 1，该蚀刻区1允许待蚀刻物件在其中进行蚀刻处理，且该蚀刻区1的上部呈突起状，所述突起的外侧面与所述蚀刻装置的外壁内侧是间隔开的；水封区2，该水封区2由所述蚀刻装置的外壁内侧、所述突起的外侧面和所述蚀刻区1的顶部所形成，该水封区2用于捕获由所述蚀刻区1外逸的蚀刻液和 /或蚀刻气。