[实用新型]一种真空镀膜圆柱靶有效

申请号：	201720154011.4	申请日：	2017-02-21
公开（公告）号：	CN206428320U	公开（公告）日：	2017-08-22
发明（设计）人：	付杰平	申请（专利权）人：	东莞市亮鑫五金加工有限公司
主分类号：	C23C14/34	分类号：	C23C14/34
代理公司：	北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙)11638	代理人：	张廷利
地址：	523000 广东省东***	国省代码：	广东;44
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摘要：
搜索关键词：	一种真空镀膜圆柱
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【权利要求书】：

1.一种真空镀膜圆柱靶，包括圆柱靶主体(1)，其特征在于：还包括盲孔一(2)、弹性卡套一(3)、活动锥套一(4)、卡套座(5)、平键一(6)、凹槽(7)、平键二(8)、活动锥套二(9)、连接杆(10)、操作头(11)、盲孔二(12)、螺母二(13)、弹性卡套二(14)、螺杆二(15)、弹簧(16)、螺杆一(17)、螺母一(18)和加长圆柱靶(19)；

所述盲孔一(2)设在圆柱靶主体(1)底端中心；

所述盲孔二(12)设在加长圆柱靶(19)顶部中心；

所述卡套座(5)上侧设有弹性卡套一(3)，所述卡套座(5)下侧设有弹性卡套二(14)，所述卡套座(5)内部竖直设有凹槽(7)；

所述弹性卡套一(3)外部与盲孔一(2)内部相连接，所述弹性卡套一(3)内部竖直活动连接有活动锥套一(4)；

所述活动锥套一(4)外部通过平键一(6)与凹槽(7)相连接；

所述弹性卡套二(14)外部与盲孔二(12)内部相连接，所述弹性卡套二(14)内部竖直活动连接有活动锥套二(9)；

所述活动锥套二(9)外部通过平键二(8)与凹槽(7)相连接，所述活动锥套二(9)顶面与所述活动锥套一(4)底面之间设有弹簧(16)；

所述连接杆(10)活动连接在加长圆柱靶(19)中心孔中，所述连接杆(10)底部设有操作头(11)，所述连接杆(10)顶部固定连接有螺杆二(15)；

所述螺杆二(15)上面活动连接有螺母二(13)，所述螺杆二(15)顶部固定连接有螺杆一(17)；

所述螺杆一(17)上面活动连接有螺母一(18)；

所述螺母二(13)固定连接在活动锥套二(9)下侧中心内部；

所述螺母一(18)固定连接在活动锥套一(4)上侧中心内部。