[实用新型]一种真空镀膜圆柱靶

说明书

技术领域：

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，特别涉及一种真空镀膜圆柱靶。

背景技术：

真空镀膜机主要指一类在较高真空度下对工件进行镀膜的设备，其中，镀膜的技术具有很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等；主要思路是分成蒸发和溅射两种；而现有的溅射设备的圆柱靶长度较短，在真空镀膜时，炉内最下几层产品得不到足够的离子溅射，容易造成发彩，导致产品电镀不良，减少每炉的产品的装载量会导致成本提高。

实用新型内容：

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种真空镀膜圆柱靶，解决了现有的溅射设备的圆柱靶长度较短，在真空镀膜时，炉内最下几层产品得不到足够的离子溅射，容易造成发彩，导致产品电镀不良，减少每炉的产品的装载量会导致成本提高的问题。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种技术方案：一种真空镀膜圆柱靶，包括圆柱靶主体，其创新点在于：还包括盲孔一、弹性卡套一、活动锥套一、卡套座、平键一、凹槽、平键二、活动锥套二、连接杆、操作头、盲孔二、螺母二、弹性卡套二、螺杆二、弹簧、螺杆一、螺母一和加长圆柱靶；所述盲孔一设在圆柱靶主体底端中心；所述盲孔二设在加长圆柱靶顶部中心；所述卡套座上侧设有弹性卡套一，所述卡套座下侧设有弹性卡套二，所述卡套座内部竖直设有凹槽；所述弹性卡套一外部与盲孔一内部相连接，所述弹性卡套一内部竖直活动连接有活动锥套一；所述活动锥套一外部通过平键一与凹槽相连接；所述弹性卡套二外部与盲孔二内部相连接，所述弹性卡套二内部竖直活动连接有活动锥套二；所述活动锥套二外部通过平键二与凹槽相连接，所述活动锥套二顶面与所述活动锥套一底面之间设有弹簧；所述连接杆活动连接在加长圆柱靶中心孔中，所述连接杆底部设有操作头，所述连接杆顶部固定连接有螺杆二；所述螺杆二上面活动连接有螺母二，所述螺杆二顶部固定连接有螺杆一；所述螺杆一上面活动连接有螺母一；所述螺母二固定连接在活动锥套二下侧中心内部；所述螺母一固定连接在活动锥套一上侧中心内部。

作为优选，所述螺杆一为右旋螺杆。

作为优选，所述螺杆二为左旋螺杆。

作为优选，所述操作头的截面呈矩形。

作为优选，所述加长圆柱靶的长度为50mm。

本实用新型的有益效果：本实用新型具有结构合理简单、生产成本低、安装方便，功能齐全，对圆柱靶主体进行加长时，首先将圆柱靶主体底部加工盲孔一，而再加长圆柱靶顶部加工出盲孔二，而后将卡套座上下两侧的弹性卡套一和弹性卡套二分别塞入到盲孔一和盲孔二中，由于这里的螺杆一为右旋螺杆，而螺杆二为左旋螺杆；所以这里旋转连接杆会使螺母一和螺母二同时向外或向内移动，当螺母一和螺母二向内移动时，会使活动锥套一和活动锥套二向内移动，使其弹性卡套一卡紧盲孔一，弹性卡套二卡紧盲孔二，从而保证了圆柱靶主体与加长圆柱靶固定在一起进行使用，也就增加圆柱靶溅射范围，使产品最下几层有足够的离子沉积，提高产能。

附图说明：

为了易于说明，本实用新型由下述的具体实施及附图作以详细描述。

图1为本实用新型的结构示意图。

1-圆柱靶主体；2-盲孔一；3-弹性卡套一；4-活动锥套一；5-卡套座；6-平键一；7-凹槽；8-平键二；9-活动锥套二；10-连接杆；11-操作头；12-盲孔二；13-螺母二；14-弹性卡套二；15-螺杆二；16-弹簧；17-螺杆一；18-螺母一；19-加长圆柱靶。

具体实施方式：