[实用新型]一种能够带动太阳能电池硅片镀膜时转动的镀膜炉

权利要求书

1.一种能够带动太阳能电池硅片镀膜时转动的镀膜炉，包括炉体和石墨舟，炉体的顶部设置有多个工艺气体的喷气口，用于给硅片镀膜，石墨舟位于喷气口的下方，用于承载硅片，其特征在于：所述镀膜炉还具有旋转台，所述旋转台位于炉体的中心位置处，所述石墨舟承托在所述旋转台上，所述旋转台在旋转过程中能够带动石墨舟同步转动，保证硅片与工艺气体充分接触，从而提高硅片的镀膜均匀性。

2.根据权利要求1所述的能够带动太阳能电池硅片镀膜时转动的镀膜炉，其特征在于：所述旋转台通过电机驱动。

3.根据权利要求2所述的能够带动太阳能电池硅片镀膜时转动的镀膜炉，其特征在于：所述旋转台与电机之间通过带轮传动机构或链轮传动机构相连接，或者电机竖向设置，旋转台直接套装在电机的电机轴上。

4.根据权利要求1所述的能够带动太阳能电池硅片镀膜时转动的镀膜炉，其特征在于：所述喷气口为2～10个。

5.根据权利要求1所述的能够带动太阳能电池硅片镀膜时转动的镀膜炉，其特征在于：所述炉体为圆柱体或截面为四边形或五边形或六边形的立方体。

6.根据权利要求1所述的能够带动太阳能电池硅片镀膜时转动的镀膜炉，其特征在于：所述石墨舟为长方体或圆柱体或截面为四边形或五边形或六边形的立方体。