[实用新型]一种静电吸附拾取夹具系统有效
| 申请号： | 201720183071.9 | 申请日： | 2017-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN206558482U | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 张一博;刘强;姚建华;卢诗毅;喻里程;刘浩;刘震;张霞峰;张根明 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所44329 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 静电 吸附 拾取 夹具 系统 | ||
1.一种静电吸附拾取夹具系统，其特征在于，包括：
可对微薄片进行筛选的筛选平台；
可对所述筛选平台上的微薄片进行静电吸附并转移的静电吸附夹具；
可对被静电吸附的微薄片去除静电的去静电平台；
所述筛选平台包括可承载微薄片的负极板载物台、位于所述负极板载物台下方并带有正电荷的筛选正极板以及位于所述筛选正极板下方的电池层；所述静电吸附夹具设有带有正电荷的夹具正极板，所述去静电平台包括静电载物台以及位于下方的电容极板。
2.如权利要求1所述的静电吸附拾取夹具系统，其特征在于，所述筛选正极板为若干个相互分离且分别与电池层电连接的正极板。
3.如权利要求2所述的静电吸附拾取夹具系统，其特征在于，若干个所述正极板可呈阵列状进行排布。
4.如权利要求3所述的静电吸附拾取夹具系统，其特征在于，所述正极板与所述电池层之间设置有用于防止正极板释放正电荷的绝缘层。
5.如权利要求1所述的静电吸附拾取夹具系统，其特征在于，所述夹具正极板朝向所述负极板载物台的端面边缘设有围沿，所述围沿与所述夹具正极板形成一可容纳微薄片并呈开放式的腔体。
6.如权利要求5所述的静电吸附拾取夹具系统，其特征在于，所述腔体的开放口设有可关闭或打开所述腔体的保护门。
7.如权利要求6所述的静电吸附拾取夹具系统，其特征在于，所述保护门枢转设于所述开放口边沿并可绕枢转轴进行摆动。
8.如权利要求6所述的静电吸附拾取夹具系统，其特征在于，所述保护门可沿滑槽滑动将所述开放口打开或关闭。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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