[实用新型]一种静电吸附拾取夹具系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及静电吸附夹具技术领域，特别涉及一种静电吸附拾取夹具系统。

背景技术

在半导体生产技术中，单晶硅等微小薄片成品的长和宽尺寸通常在2—10um范围内，由于微薄片的外形尺寸过小，如果通过机械夹装的方式容易造成微薄片边界的破损，但是微薄片的外形尺寸过少，容易造成夹紧不牢固而导致松脱等情况发生，因此外形尺寸较小微薄片进行搬移时存在较多技术问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种生产效率高以及准确搬移微薄片的静电吸附拾取夹具系统，旨在解决现有技术中外形尺寸较小微薄片难以搬移的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提出的一种静电吸附拾取夹具系统，包括：

可对微薄片进行筛选的筛选平台；

可对所述筛选平台上的微薄片进行静电吸附并转移的静电吸附夹具；

可对被静电吸附的微薄片去除静电的去静电平台；

所述筛选平台包括可承载微薄片的负极板载物台、位于所述负极板载物台下方并带有正电荷的筛选正极板以及位于所述筛选正极板下方的电池层；所述静电吸附夹具设有带有正电荷的夹具正极板，所述去静电平台包括静电载物台以及位于下方的电容极板。

优选地，所述筛选正极板为若干个相互分离且分别与电池层电连接的正极板。

优选地，若干个所述正极板可呈阵列状进行排布。

优选地，所述正极板与所述电池层之间设置有用于防止正极板释放正电荷的绝缘层。

优选地，所述夹具正极板朝向所述负极板载物台的端面边缘设有围沿，所述围沿与所述夹具正极板形成一可容纳微薄片并呈开放式的腔体。

优选地，所述腔体的开放口设有可关闭或打开所述腔体的保护门。

优选地，所述保护门枢转设于所述开放口边沿并可绕枢转轴进行摆动。

优选地，所述保护门可沿滑槽滑动将所述开放口打开或关闭。

本实用新型技术方案通过筛选正极板对放置于负极板载物台上的微薄片进行感应产生负电荷，然后被带有正电荷的夹具正极板所吸附进行搬移，最后通过去静电平台实现微薄片的负电荷消除以及缓慢且准确地放置于指定位置，从而实现对于外形尺寸较小的微薄片进行筛选拾取、吸附搬移、准确放置，解决了现有技术中微薄片搬移的技术问题。

相对于现有技术，本实用新型能够有效解决纳米级成品进行准确搬移的技术问题，能够有效筛选成品、有效吸附成品以及缓降定位等优点，能够提高生产效率以及保证成品完整性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型筛选平台的结构示意图；

图2为本实用新型静电吸附夹具的结构示意图；

图3为本实用新型去静电平台的结构示意图。

附图标号说明：