[实用新型]一种MOCVD设备的清洁装置

权利要求书

1.一种MOCVD设备的清洁装置，其特征在于，包括：

支架；

摆动电机，所述摆动电机设置在支架上；

激光发生器，所述激光发生器与所述摆动电机的输出轴连接，以使激光发生器在摆动电机驱动下在竖直方向上转动。

2.如权利要求1所述的MOCVD设备的清洁装置，其特征在于，还包括旋转电机，所述旋转电机设置在所述支架的顶端以驱动支架旋转。

3.如权利要求2所述的MOCVD设备的清洁装置，其特征在于，所述支架为圆柱状，所述摆动电机设置在支架的底端。

4.如权利要求3所述的MOCVD设备的清洁装置，其特征在于，所述支架的底端设有两个支撑部，所述支撑部设有通孔，所述摆动电机设置在支撑部的一侧，摆动电机的输出轴穿过所述通孔并与所述激光器相连。

5.如权利要求2所述的MOCVD设备的清洁装置，其特征在于，所述摆动电机和旋转电机为步进电机。

6.如权利要求1或2所述的MOCVD设备的清洁装置，其特征在于，还包括驱动控制器，用于控制所述激光发生器的输出功率。