[实用新型]一种自动化物料搬送系统

说明书

技术领域

本实用新型属于物料输送领域，更具体地，涉及一种自动化物料搬送系统。

背景技术

随着半导体技术的发展，半导体制造厂已大量运用自动化生产系统，尤其在300mm工厂，自动化物料搬送系统(Automatic Material Handling System，AMHS)已经取代了大部分人力搬运硅片盒的工作。在最先进的300mm工厂AMHS系统中，硅片盒通过搬运小车，实现在存储货架(Stocker)之间、存储货架与工艺设备之间的自动搬运。随着现代化工厂对产能要求的不断提高，也对AMHS系统的搬运效率提出了越来越严苛的要求。在当前技术中，一套AMHS系统通常需要花费几千万美元。AMHS在接到搬运指令，到OHT(Overhead Hoist Transfer)小车或OHS(Overhead Shuttle)小车提取硅片盒，到送至指定位置，平均耗时通常小于3分钟，远小于传统人力搬运所耗费的时间，但是出于对最优化的不断追求，仍然推动着AMHS系统不断进化，不断出现新技术来推动半导体工厂在提高产能方面的发展。

图1为现有技术的AMHS系统示意图。如图1所示，该AMHS系统主要包括：多于一个的物料存储装置(stocker)101、102，用于硅片盒存储，具有单层轨道103用于搬运小车104行进，搬运小车104用于携带物料，即硅片盒。当AMHS系统需要将stocker101中的硅片盒运至工艺设备105时，搬运小车104沿着轨道103将硅片盒运至工艺设备105。在这期间，如果同时有需求将存储货架101中的硅片盒运至另一存储货架102，则在轨道103被搬运小车104占用期间，需要等待上一个搬运任务完成或者搬运小车104离开此段轨道以后才能进行。这种情况增加了等待时间，造成AMHS系统的搬运效率的降低。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种自动化物料搬送系统，通过在物料存储装置之间增设轨道的方法，实现各物料存储装置之间、物料存储装置与工艺设备之间、以及各工艺设备之间的物料搬运同步并行完成，进一步优化AMHS系统，提高物料的传输效率。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种自动化物料搬送系统，包括：至少二个物料存储装置、轨道装置、物料控制装置和至少一个工艺设备；其中，物料存储装置包括至少一组且处于同一层的供第一轨道单元输送物料进入和取出的第一物料输入口和第一物料输出口，和至少一组且处于同一层的供第二轨道单元输送物料进入或取出的第二物料输入口和第二物料输出口；轨道装置包括第一轨道单元，位于物料存储装置和工艺设备之间，第二轨道单元，位于物料存储装置之间，以及分别在第一轨道单元和第二轨道单元上运输物料的多个搬运小车，其中，第一轨道单元和第二轨道单元互相独立；物料控制装置用于接受指令调集最近的搬运小车搬送物料。

优选地，所述第一轨道单元位于净化间吊顶下方；所述第二轨道单元位于净化间吊顶上方或下方。

优选地，所述第一、第二轨道单元包括至少一层轨道，所述轨道之间不相通且位于不同平面。

优选地，所述物料存储装置的高度高于净化间吊顶，所述第二物料输入口和第二物料输出口位于净化间吊顶上方。

优选地，所述轨道包括一个主轨道和至少一个分轨道，分轨道与主轨道相连通。

优选地，位于净化间吊顶上方的第二轨道单元外具有保持洁净度的外罩。

优选地，所述多个搬运小车可以同时并行进行物料搬运。

优选地，所述搬运小车为OHT小车或OHS小车；所述第一、第二轨道单元为OHT小车的轨道或OHS小车的轨道.

从上述技术方案可以看出，本实用新型通过在物料存储装置之间增设第二轨道单元，实现了各物料存储装置之间、物料存储装置与工艺设备之间、以及各工艺设备之间的物料搬运同步并行完成，进一步优化AMHS系统，提高物料的传输效率。以及通过合理利用净化间吊顶上方的空间，增加了物料存储装置的存储能力，有效地改善了现有技术的产能。因此，本实用新型具有提高AMHS系统的搬运效率，从而减少等待时间，实现半导体工厂在产能方面的优化的显著特点。

附图说明

图1是现有技术的AMHS系统的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例的自动化物料搬送系统的结构示意图；