[实用新型]一种刻蚀腔室上刻蚀入口的闸门装置

权利要求书

1.一种刻蚀腔室上刻蚀入口的闸门装置，其特征在于：包括驱动轴（12）、气缸（13）、第一驱动块（14）、第二驱动块（15）以及设有槽孔（110）的挡板（11），所述气缸（13）固定于所述刻蚀腔室的外壁上，且气缸（13）的气缸轴与第二驱动块（15）相连，第二驱动块（15）与第一驱动块（14）相铰接，第一驱动块（14）固定于驱动轴（12）上，驱动轴（12）转动设于所述刻蚀腔室内，挡板（11）倾斜抵接于刻蚀腔室的内壁上并将所述刻蚀腔室的刻蚀入口封闭，气缸（13）的气缸轴收缩并驱动挡板（11）转动，挡板（11）的一端面平行抵触于刻蚀腔室的内壁时，所述槽孔（110）与所述刻蚀入口相贯通。

2.如权利要求1所述的刻蚀腔室上刻蚀入口的闸门装置，其特征在于：所述挡板（11）的内壁上设有第一连接块（111）和第二连接块（112），所述第一、二连接块之间形成有安装间隙（115），第一连接块（111）的一端套设于驱动轴（12）上。

3.如权利要求2所述的刻蚀腔室上刻蚀入口的闸门装置，其特征在于：所述驱动轴（12）上套设有连接板（16），该连接板（16）的一端伸于安装间隙（115）内并与第二连接块（112）相铰接。

4.如权利要求1所述的刻蚀腔室上刻蚀入口的闸门装置，其特征在于：所述第一驱动块（14）上设有连接槽（140），在第一驱动块（14）的侧壁上设有通孔（141），该通孔（141）与连接槽（140）相贯通。

5.如权利要求4所述的刻蚀腔室上刻蚀入口的闸门装置，其特征在于：所述连接槽（140）的内壁上设有圆弧定位部。

6.如权利要求1所述的刻蚀腔室上刻蚀入口的闸门装置，其特征在于：所述第二驱动块（15）上设有铰接耳（151）。

7.如权利要求1所述的刻蚀腔室上刻蚀入口的闸门装置，其特征在于：所述驱动轴（12）包括转轴部（121）和连接部（122），两所述转轴部（121）螺纹连接在连接部（122）的左右两侧。