[实用新型]晶圆自动寻心装置

权利要求书

1.晶圆自动寻心装置，其特征在于，包括：

机械手，用于对晶圆进行取放；

驱动机构，用于对所述机械手进行驱动，从而使所述机械手移动；以及

控制装置，用于对所述驱动机构进行控制，

所述机械手设有多个光传感器，当所述机械手向着晶圆移动从而对晶圆进行取放时，所述光传感器被晶圆遮断因而被触发，所述控制装置基于所述光传感器被触发时的位置来计算晶圆的圆心位置。

2.根据权利要求1所述的晶圆自动寻心装置，其特征在于，所述光传感器被设置为在晶圆与所述机械手同心的状态下被晶圆的边缘遮断。

3.根据权利要求2所述的晶圆自动寻心装置，其特征在于，所述光传感器被设置在如下位置：在晶圆与所述机械手同心的状态下，所述光传感器沿着晶圆的所述边缘排列，并且从晶圆的所述边缘径向向内偏移。

4.根据权利要求1所述的晶圆自动寻心装置，其特征在于，所述控制装置被构成为使用如下公式来计算所述圆心位置：

x₀＝d+ey₀

y0=-b±b2-4ac2a]]>

约束条件为y₀＞(y₁+y₂)/2

其中，a＝e²+1

b＝2de-2ex₁-2y₁

C＝x₁²-2dx₁+d²+y₁²-R²

d＝(x₁2-x₂²+y₁2-y₂²)/2/(x₁-x₂)

e＝-(Y₁-Y₂)/(x₁-x₂)

(x₀，y₀)是所述圆心位置的坐标，(x₁，y₁)是所述光传感器中的第一光传感器被触发时的位置的坐标，(x₂，y₂)是所述光传感器中的第二光传感器被触发时的位置的坐标。

5.根据权利要求4所述的晶圆自动寻心装置，其特征在于，所述控制装置被构成为当被触发的所述光传感器的数量是3个以上时，将每个被触发的所述光传感器与其它被触发的所述光传感器中的每个组成一组，对于每组计算所述圆心位置，将计算出的多个所述圆心位置的平均值作为所述圆心位置。

6.根据权利要求1所述的晶圆自动寻心装置，其特征在于，当所述机械手移动到预先设定的位置时，全部所述光传感器均被触发，所述控制装置基于被触发的所述光传感器开始计算所述圆心位置。

7.根据权利要求6所述的晶圆自动寻心装置，其特征在于，还包括报警装置，如果当所述机械手移动到所述预先设定的位置时仍存在未被触发的所述光传感器，则所述报警装置发出警报。

8.根据权利要求1所述的晶圆自动寻心装置，其特征在于，所述控制装置被构成为将所述圆心位置转换为所述机械手的目标位置，使所述机械手移动到所述目标位置对晶圆进行取送。

9.根据权利要求8所述的晶圆自动寻心装置，其特征在于，还包括报警装置，在所述机械手移动到所述目标位置之后对晶圆进行取送的过程中，如果存在未被触发的所述光传感器，则所述报警装置发出警报。