[实用新型]晶圆自动寻心装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造和自动化领域，具体来说，涉及一种自动寻找晶圆圆心的装置。

背景技术

集成电路生产对设备、原材料以及生产环境的要求十分苛刻。晶圆生产过程要求高洁净度、高稳定度、高可靠性。为了提高生产效率，在生产线上(例如8英寸、12英寸晶圆设备)已经采用自动化晶圆传输系统来代替人工来对晶圆进行传输。晶圆传输系统是指集成电路生产工厂在高洁净度环境下对晶圆进行分类的传送设备，属于半导体设备高端制造业。

晶圆传输系统的核心在于如何使机械手准确、安全的对晶圆执行取送操作。这需要一套安全、有效的装置来保证晶圆传输系统代替人工完成这项工作。

以往，对晶圆传输系统的机械手预先设置取送位置参数。机械手按照所设置的取送位置参数来执行取送操作。但是，这种方法无法满足对取送精度的要求。例如，即使目标晶圆的位置发生变化，机械手也仍然按照预先设置的参数去执行取送操作，造成取送结果不够准确，并且容易对目标晶圆造成损伤。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的一个目的在于提供一种晶圆自动寻心装置，能够高效、精准地对晶圆进行检测和寻心。

(1)为了实现上述目的，本实用新型提供一种晶圆自动寻心装置，包括：机械手，用于对晶圆进行取放；驱动机构，用于对所述机械手进行驱动，从而使所述机械手移动；以及控制装置，用于对所述驱动机构进行控制，所述机械手设有多个光传感器，当所述机械手向着晶圆移动从而对晶圆进行取放时，所述光传感器被晶圆遮断因而被触发，所述控制装置基于所述光传感器被触发时的位置来计算晶圆的圆心位置。

(2)本实用新型的晶圆自动寻心装置，所述光传感器被设置为在晶圆与所述机械手同心的状态下被晶圆的边缘遮断。

(3)本实用新型的晶圆自动寻心装置，所述光传感器被设置在如下位置：在晶圆与所述机械手同心的状态下，所述光传感器沿着晶圆的所述边缘排列，并且从晶圆的所述边缘径向向内偏移。

(4)本实用新型的晶圆自动寻心装置，所述控制装置被构成为使用如下公式来计算所述圆心位置：

x₀＝d+ey₀

约束条件为y₀＞(y₁+y₂)/2

其中，a＝e²+1

b＝2de-2ex₁-2y₁

C＝x₁²-2dx₁+d²+y₁²-R²

d＝(x₁²-x₂²+y₁²-y₂²)/2/(x₁-x₂)

e＝-(y₁-y₂)/(x₁-x₂)

(x₀，y₀)是所述圆心位置的坐标，(x₁，y₁)是所述光传感器中的第一光传感器被触发时的位置的坐标，(x₂，y₂)是所述光传感器中的第二光传感器被触发时的位置的坐标。

(5)本实用新型的晶圆自动寻心装置，所述控制装置被构成为当被触发的所述光传感器的数量是3个以上时，将每个被触发的所述光传感器与其它被触发的所述光传感器中的每个组成一组，对于每组计算所述圆心位置，将计算出的多个所述圆心位置的平均值作为所述圆心位置。

(6)本实用新型的晶圆自动寻心装置，当所述机械手移动到预先设定的位置时，全部所述光传感器均被触发，所述控制装置基于被触发的所述光传感器开始计算所述圆心位置。

(7)本实用新型的晶圆自动寻心装置，还包括报警装置，如果当所述机械手移动到所述预先设定的位置时仍存在未被触发的所述光传感器，则所述报警装置发出警报。

(8)本实用新型的晶圆自动寻心装置，所述控制装置被构成为将所述圆心位置转换为所述机械手的目标位置，使所述机械手移动到所述目标位置对晶圆进行取送。