[实用新型]一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备

权利要求书

1.一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备，包括主机架（3），其特征在于：所述主机架（3）上方安装有罗茨泵（2），且主机架（3）右侧固定有传膜架（4），所述主机架（3）通过支管（18）与滑阀泵（8）相连接，所述滑阀泵（8）上方安装有维持泵（6），且维持泵（6）通过导线与起重架（7）固定连接，所述起重架（7）上设置有前置阀（5），所述滑阀泵（8）左侧安装有低温水气泵（17），且低温水气泵（17）下方设置有镀膜室（15），所述镀膜室（15）右下方设置有卷绕室（14），且卷绕室（14）安装在底架（13）上，所述底架（13）内设置有真空室（12），且真空室（12）右侧固定有增压泵（11），所述增压泵（11）右侧设有控制柜（10），且控制柜（10）通过主轴（9）与底架（13）相连接。

2.根据权利要求1所述的一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备，其特征在于：所述主机架（3）左侧通过连轴与副机架（1）固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备，其特征在于：所述滑阀泵（8）共设置有两个，且滑阀泵（8）内安装有阀门（16）。

4.根据权利要求1所述的一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备，其特征在于：所述低温水气泵（17）通过软管与冷冻仓相连接。

5.根据权利要求1所述的一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备，其特征在于：所述滑阀泵（8）之间设有六十六度夹角。

6.根据权利要求1所述的一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备，其特征在于：所述卷绕室（14）和镀膜室（15）之间设置有蒸发源。