[实用新型]一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体为一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备。

背景技术

真空蒸发镀膜技术是 PVD（物理气相沉积）技术中发展最早，应用领域很广的镀膜技术。其工作原理是将膜材置于真空镀膜设备的蒸发源（用来加热膜材使之气化蒸发的装置）中，在高真空条件下通过蒸发源加热膜材使之蒸发形成蒸气，蒸气到达被镀的基材表面后由于基材温度较低，蒸气便凝结在基材表面形成薄膜。目前广泛应用的是箱式蒸发镀膜机，这种箱式蒸发镀膜机主要采用电阻加热蒸发源和电子束加热蒸发源（由电子枪和坩埚组成）两种蒸发源。这种镀膜机主要包括真空室、抽气系统、蒸发源、膜厚测量系统、离子源、加热器等。由于上述这种镀膜机一般采用油扩散泵+罗茨泵+油封式旋片泵的抽气系统，油蒸气对真空室体会有一定的污染，进而会污染膜层品质，因此市场急需研制一种新型的全自动立式双门真空蒸发镀膜设备。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备，包括主机架，所述主机架上方安装有罗茨泵，且主机架右侧固定有传膜架，所述主机架通过支管与滑阀泵相连接，所述滑阀泵上方安装有维持泵，且维持泵通过导线与起重架固定连接，所述起重架上设置有前置阀，所述滑阀泵左侧安装有低温水气泵，且低温水气泵下方设置有镀膜室，所述镀膜室右下方设置有卷绕室，且卷绕室安装在底架上，所述底架内设置有真空室，且真空室右侧固定有增压泵，所述增压泵右侧设有控制柜，且控制柜通过主轴与底架相连接。

优选的，所述主机架左侧通过连轴与副机架固定连接。

优选的，所述滑阀泵共设置有两个，且滑阀泵内安装有阀门。

优选的，所述低温水气泵通过软管与冷冻仓相连接。

优选的，所述滑阀泵之间设有六十六度夹角。

优选的，所述卷绕室和镀膜室之间设置有蒸发源。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型除了工件架和膜料的装卸采用人工外，其他操作由装置自动完成，大大提高了镀膜效率，保证了产品膜层的一致性，同时镀膜室内可保持高真空状态，杂质气体少，可有效地防止膜料蒸气被杂质气体污染，从而可以获得品质更优的膜层；该设备克服了使用冷阱存在的技术要求和运行成本过高的缺陷，具备实现设备国产化，使整机造价降低，大大提高了工作效率，使得镀膜产品达到先进水平。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的主视图。

图中：1-副机架；2-罗茨泵；3-主机架；4-传膜架；5-前置阀；6-维持泵；7-起重架；8-滑阀泵；9-主轴；10-控制柜；11-增压泵；12-真空室；13-底架；14-卷绕室；15-镀膜室；16-阀门；17-低温水气泵；18-支管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供的一种实施例：一种全自动立式双门真空蒸发镀膜设备，包括主机架3，主机架3上方安装有罗茨泵2，且主机架3右侧固定有传膜架4，主机架3通过支管18与滑阀泵8相连接，滑阀泵8上方安装有维持泵6，且维持泵6通过导线与起重架7固定连接，起重架7上设置有前置阀5，滑阀泵8左侧安装有低温水气泵17，且低温水气泵17下方设置有镀膜室15，镀膜室15右下方设置有卷绕室14，且卷绕室14安装在底架13上，底架13内设置有真空室12，且真空室12右侧固定有增压泵11，增压泵11右侧设有控制柜10，且控制柜10通过主轴9与底架13相连接，主机架3左侧通过连轴与副机架1固定连接，滑阀泵8共设置有两个，且滑阀泵8内安装有阀门16，低温水气泵17通过软管与冷冻仓相连接，低温水气泵17通过软管与冷冻仓相连接，卷绕室14和镀膜室15之间设置有蒸发源。