[实用新型]一种快速沉积单晶炉用炭炭导流筒的装置

权利要求书

1.一种快速沉积单晶炉用炭炭导流筒的装置，包括沉积室本体，所述沉积室本体由石墨材料制成，所述沉积室本体的底面上设有进气口，所述沉积室本体的顶部用石墨盖板进行封闭，所述石墨盖板上设有出气口，所述沉积室的底面上设有若干石墨支柱，所述沉积室腔体内设有从下而上均匀布设的若干水平石墨圆板，除最顶部的石墨圆板外，每个石墨圆板的中心均设有圆孔，且石墨圆板的外径小于沉积室的内径，最底部的石墨圆板下方由石墨支柱支撑，石墨圆板的上方用于放置炭炭导流筒，所述沉积室的中部设有贯穿石墨圆板中心圆孔的竖向进气管，所述竖向进气管由与石墨圆板数目相同的若干进气管节组成，每个进气管节的侧壁上均设有多个出气孔。

2.根据权利要求1所述的快速沉积单晶炉用炭炭导流筒的装置，其特征在于，所述石墨圆板的上表面设有用于支撑炭炭导流筒的石墨垫块。

3.根据权利要求1所述的快速沉积单晶炉用炭炭导流筒的装置，其特征在于，所述石墨圆板的外径比沉积室的内径小4-6cm。