[实用新型]一种快速沉积单晶炉用炭炭导流筒的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种沉积炭炭导流筒的装置，尤其涉及一种快速沉积单晶炉用炭炭导流筒的装置。

背景技术

导流筒是单晶硅拉制炉热场系统的关键元件之一，主要用于控制热场的温度梯度和引导氩气流。传统的石墨导流筒因其保温效果差，力学性能偏低，使用寿命短，成型难，耗材多等问题，逐渐被炭炭材料的导流筒所取代。

炭炭导流筒是由碳纤维编制的预制体经过气相沉积增密，高温纯化，精密加工制备而来的。其中气相沉积增密过程是影响炭炭导流筒制备时间长短和产品质量的主要因素，但是由于炭炭导流筒预制体的厚度一般比较大，形状也多样，装炉方式随意，进气的方式又受限，因而导致气相沉积的过程往往周期长，沉积增密的效果差，增密不均匀。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中炭炭导流筒沉积增密过程中存在的不足，提供一种快速沉积单晶炉用炭炭导流筒的装置。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：

一种快速沉积单晶炉用炭炭导流筒的装置，包括沉积室本体，沉积室本体由石墨材料制成，沉积室本体的底面上设有进气口，沉积室本体的顶部用石墨盖板进行封闭，石墨盖板上设有出气口，沉积室的底面上设有若干石墨支柱，沉积室腔体内设有从下而上均匀布设的若干水平石墨圆板，除最顶部的石墨圆板外，每个石墨圆板的中心均设有圆孔，且石墨圆板的外径小于沉积室的内径，最底部的石墨圆板下方由石墨支柱支撑，石墨圆板的上方用于放置炭炭导流筒，沉积室的中部设有贯穿石墨圆板中心圆孔的竖向进气管，竖向进气管由与石墨圆板数目相同的若干进气管节组成，每个进气管节的侧壁上均设有多个出气孔。

本实用新型的有益效果是：

1)使用本实用新型的装置后，碳源气体由炭炭导流筒的内部至外部进行渗透，提高了碳源气体的有效利用率和沉积增密效率，同时能确保横、纵向炭炭导流筒密度的均匀性，使得沉积过程的周期短，沉积增密的效果好，沉积均匀；

2)设计合理，操作简单，装炉方式统一有序，使用效果好；

3)适用范围广，适用于多种不同形状的需沉积增密的炭炭复合材料产品。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

进一步，所述石墨圆板的上表面设有用于支撑炭炭导流筒的石墨垫块。

采用上述进一步技术方案的有益效果是，由于石墨垫块的支撑，使得整个导流筒的沉积氛围更加均匀，沉积效果更好。

进一步，所述石墨圆板的外径比沉积室的内径小4-6cm。

采用上述进一步技术方案的有益效果是，能够使气流更好的扩散和流通，沉积效果更好。

附图说明

图1为本实用新型实施例的装置结构示意图；

图1中，1、沉积室本体；2、进气口；3、石墨盖板；4、出气口；5、石墨支柱；6、石墨圆板；7、圆孔；8、炭炭导流筒；9、竖向进气管；10、出气孔；11、石墨垫块

具体实施方式

以下结合实例对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。

一种快速沉积单晶炉用炭炭导流筒的装置，如图1所示，包括沉积室本体1，沉积室本体由石墨材料制成，沉积室本体的底面上设有进气口2，沉积室本体的顶部用石墨盖板3进行封闭，石墨盖板上设有出气口4，沉积室的底面上设有若干石墨支柱5，沉积室腔体内设有从下而上均匀布设的4个水平石墨圆板6，除最顶部的石墨圆板外，每个石墨圆板的中心均设有圆孔7，且石墨圆板的外径比沉积室的内径小4-6cm，最底部的石墨圆板下方由石墨支柱支撑，石墨圆板的上方设有石墨垫块11，石墨垫块用于支撑炭炭导流筒8，沉积室的中部设有贯穿石墨圆板中心圆孔的竖向进气管9，竖向进气管由4组进气管节组成，每个进气管节的侧壁上均设有多个出气孔10。

上述装置在使用过程中，气体由进气口进入竖向进气管，经预热后从竖向进气管的侧向孔洞中流出到需致密炭炭导流筒的内部空间，进行内部反应渗透或沿炭炭导流筒的内壁流出到外侧，最后由出气口排出废气。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。