[实用新型]实时测量紫外光强度的硅片光刻机

权利要求书

1.一种实时测量紫外光强度的硅片光刻机，其特征在于，包括紫外光遮罩体，该紫外光遮罩体具有一光刻腔体，所述光刻腔体内上下依次设置有照明系统、掩膜台系统和自动对准系统，所述照明系统包括紫外光源和紫外辐射照计模块，所述紫外光遮罩体上设置有操作面板，所述紫外辐射照计模块连接于所述照明系统，该操作面板包括紫外线强度显示窗口，所述紫外光遮罩体开设有样品取置窗口，该取置窗口遮盖有紫外光隔离门。

2.根据权利要求1所述的实时测量紫外光强度的硅片光刻机，其特征在于：所述紫外光隔离门的一端转动连接于所述紫外光遮罩体。

3.根据权利要求1所述的实时测量紫外光强度的硅片光刻机，其特征在于：所述紫外辐射照计模块通过挂钩装置设置于紫外光源下方。

4.根据权利要求3所述的实时测量紫外光强度的硅片光刻机，其特征在于：所述紫外辐射照计模块的探头传感器窗口指向所述紫外光源。

5.根据权利要求3所述的实时测量紫外光强度的硅片光刻机，其特征在于：所述紫外辐射照计模块测量光谱响应满足：中心点254nm，带宽230nm～280nm，量程0～8000uW/cm²，测量精度：±10％。

6.根据权利要求1所述的实时测量紫外光强度的硅片光刻机，其特征在于：所述操作面板输入方式采用按键或触摸屏。

7.根据权利要求1所述的实时测量紫外光强度的硅片光刻机，其特征在于：所述操作面板至少包括曝光、上升、曝光时间的参数设置模块。

8.根据权利要求1所述的实时测量紫外光强度的硅片光刻机，其特征在于：所述紫外光遮罩体设置于一减震工作台上，该减震工作台的底部设置有多个弹性脚垫。

9.根据权利要求8所述的实时测量紫外光强度的硅片光刻机，其特征在于：所述减震工作台上设置有总电源开关和汞灯光源开关。

10.根据权利要求1所述的实时测量紫外光强度的硅片光刻机，其特征在于：所述掩膜台系统连接真空泵。