[实用新型]一种二级抽真空系统

权利要求书

1.一种二级抽真空系统，其特征在于：包括罗茨泵（1）和螺杆泵（2），所述罗茨泵（1）的排气口连接有第一排气管（3），所述第一排气管（3）与一冷凝器（4）连接，所述冷凝器（4）的出气管道（5）与一废液储罐（6）连接，所述出气管道（5）连接有水平布置的第二出气管（7），所述出气管道（5）上与第二出气管（7）连通处设有紧急切断阀（15），所述第二出气管（7）连接螺杆泵（2），所述螺杆泵（2）的排气口连接有第二排气管（8），所述第二排气管（8）连接有排气装置（9）。

2.根据权利要求1所述的一种二级抽真空系统，其特征在于：所述排气装置（9）包括与第二排气管（8）连接的第三排气管（10），所述第三排气管（10）上端设有出气口（11），下端连接一废液储罐（6），所述出气口（11）处设有活性炭吸附层（12），所述第三排气管（10）外壁设有水冷装置（16）。

3.根据权利要求2所述的一种二级抽真空系统，其特征在于：所述第三排气管（10）材质为不锈钢，管径比第二排气管（8）管径大一到二倍。

4.根据权利要求2所述的一种二级抽真空系统，其特征在于：所述水冷装置（16）包括缠绕套设在第三排气管（10）外壁的循环水管（17），所述循环水管（17）底部连接一水泵（18）。

5.根据权利要求1所述的一种二级抽真空系统，其特征在于：所述第二排气管（8）上设有温度探头（13）和压力探头（14）。