[实用新型]光罩及检测结构

权利要求书

1.一种光罩，其特征在于，包括第一模块区、第二模块区和第三模块区，所述第二模块区围绕所述第一模块区，所述第三模块区围绕所述第二模块区，所述第三模块区包括多个不同线宽的线条，所述第二模块区的线宽大于第三模块区中线条的最大线宽。

2.如权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述第一模块区位于所述光罩的中央。

3.如权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述第一模块区包括多个矩形，相邻矩形之间的间距小于所述矩形的边长。

4.如权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述第二模块区为一环形，所述环形的宽度大于等于2μm。

5.如权利要求4所述的光罩，其特征在于，所述第二模块区为方环形。

6.如权利要求5所述的光罩，其特征在于，所述第三模块区包括4个相同的部分，4个所述部分分别排布在所述第二模块区四周。

7.如权利要求6所述的光罩，其特征在于，每个所述部分的线条均按顺时针排列。

8.如权利要求7所述的光罩，其特征在于，每个所述部分中，所述线条的线宽均按顺时针依次增大或减小。

9.如权利要求1所述的光罩，其特征在于，相邻线条之间的间距为最小线条线宽的10倍以上。

10.如权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述第三模块区与第二模块区相连接。

11.一种检测结构，其特征在于，包括：第一模块、第二模块和第三模块，所述第二模块围绕所述第一模块，所述第三模块围绕所述第二模块，所述第三模块包括多个不同线宽的线条，所述第二模块的线宽大于第三模块中线条的最大线宽。

12.如权利要求11所述的检测结构，其特征在于，所述第一模块包括多个长方体，相邻长方体之间的间距小于所述长方体的边长。

13.如权利要求11所述的检测结构，其特征在于，所述第二模块为一环形结构，所述环形结构的宽度大于等于2μm。

14.如权利要求13所述的检测结构，其特征在于，所述第二模块为方环形结构。

15.如权利要求14所述的检测结构，其特征在于，所述第三模块包括4个相同的部分，4个所述部分分别排布在所述第二模块四周。

16.如权利要求15所述的检测结构，其特征在于，每个所述部分的线条均按顺时针排列。

17.如权利要求16所述的检测结构，其特征在于，每个所述部分中，所述线条的线宽均按顺时针依次增大或减小。

18.如权利要求11所述的检测结构，其特征在于，相邻线条之间的间距为最小线条线宽的10倍以上。

19.如权利要求11所述的检测结构，其特征在于，所述第三模块与第二模块相连接。