[实用新型]水分测定装置

权利要求书

1.一种水分测定装置，其将红外线向光学膜照射而测定所述光学膜的水分率，所述水分测定装置的特征在于，具备：

照射部，其向作为测定对象的光学膜照射具有相对于水的吸收波长的红外线；

聚光部，其将从所述照射部输出的所述红外线转换为会聚光并向所述光学膜入射；

反射部，其将入射至所述光学膜并透过所述光学膜后的所述红外线向所述光学膜侧反射；以及

检测部，其检测由所述反射部反射且透过所述光学膜后的所述红外线。

2.根据权利要求1所述的水分测定装置，其特征在于，

所述反射部具有：

第一反射板；和

第二反射板，其以与所述第一反射板交叉的方式设置。

3.根据权利要求2所述的水分测定装置，其特征在于，

所述第一反射板与所述第二反射板正交。

4.根据权利要求1所述的水分测定装置，其特征在于，

所述聚光部与所述反射部配置为：由所述反射部反射后的所述红外线以与从所述照射部入射至所述聚光部的所述红外线的光轴不同的光轴入射至所述聚光部且由所述聚光部聚光。

5.根据权利要求1所述的水分测定装置，其特征在于，

所述会聚光的会聚点位于所述光学膜与所述反射部之间。

6.根据权利要求1所述的水分测定装置，其特征在于，

所述聚光部具有平凸柱透镜。

7.根据权利要求1所述的水分测定装置，其特征在于，

所述聚光部的所述光学膜侧的数值孔径NA满足式(1)，

NA≥n0·sin(12sin-1(n·sin(cos-1(n·t5λ+nt))))...(1)]]>

在式(1)中，n₀为测定环境的折射率，n为所述光学膜的折射率，λ为所述红外线的中心波长，t为所述光学膜的厚度。

8.根据权利要求1所述的水分测定装置，其特征在于，

在将所述聚光部的光轴与所述光学膜的所述聚光部侧的面的垂线所成的角度设为θ时，所述θ满足式(2)，

sin-1(NAn0)≤θ<π2-sin-1(NAn0)...(2)]]>

在式(2)中，NA为所述聚光部的所述光学膜侧的数值孔径，n₀为测定环境的折射率。