[实用新型]水分测定装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及水分测定装置。

背景技术

作为对测定对象(工件)的水分进行测定的水分测定装置，已知利用具有相对于水的吸收波长的红外线的装置。在利用红外线的水分测定装置中，将上述红外线向测定对象照射，算出被测定对象吸收的红外线的量，由此测定测定对象内的水分量。

在上述水分测定装置的测定对象为光学膜的情况下，红外线的大多数通过光学膜。因而，水分测定装置在向光学膜照射红外线的照射方向上，在光学膜的后方(背面)侧具备反射板，在照射至光学膜并通过光学膜后的红外线被反射板朝向光学膜反射之后，检测通过光学膜后的红外线。

在向光学膜照射红外线时，光学膜的红外线的透射率(或反射率)有时因由光学膜内的多重反射引起的光干涉现象而发生变化。由这样的光干涉现象引起的透射率(或反射率)的变化未反映光学膜内的水分量，因此有时无法准确测定水分。

实用新型内容

于是，本实用新型的目的在于，提供能够利用红外线而精度良好地测定光学膜的水分率的水分测定装置。

本实用新型的水分测定装置将红外线向光学膜照射而测定上述光学膜的水分率，所述水分测定装置的特征在于，具备：照射部，其向作为测定对象的光学膜照射具有相对于水的吸收波长的红外线；聚光部，其将从上述照射部输出的上述红外线转换为会聚光并向上述光学膜入射；反射部，其将入射至上述光学膜并透过上述光学膜后的上述红外线向上述光学膜侧反射；以及检测部，其检测由上述反射部反射且透过上述光学膜后的上述红外线。

在上述水分测定装置中，从照射部输出并入射至光学膜的红外线通过光学膜并由反射部反射。由反射部反射后的红外线再次通过光学膜并被检测部检测到。在红外线通过光学膜时，红外线的一部分被光学膜内的水分所吸收。因此，能够测定出光学膜的水分率。从照射部输出的红外线在入射至光学膜之前通过聚光部，从而作为会聚光入射至光学膜。在该情况下，入射至光学膜的红外线的指向性与不具备聚光部的情况相比得到缓和，因此即使在光学膜内发生多重反射，光干涉现象也被平均化，能够抑制与光干涉现象相伴的透射率(或反射率)的变化。其结果是，本实用新型的水分测定装置能够精度良好地测定光学膜的水分率。

上述反射部也可以具有第一反射板和以与上述第一反射板交叉的方式设置的第二反射板。在该情况下，利用第一反射板的反射和第二反射板的反射而使从照射部输出并向光学膜入射的红外线返回至光学膜侧。因此，容易调整反射部对红外线进行反射的反射方向，容易使由反射部反射后的红外线再次通过光学膜并将其引导至检测部。

上述第一反射板与上述第二反射板例如也可以正交。

上述聚光部与上述反射部也可以配置为：由上述反射部反射后的上述红外线以与从上述照射部入射至上述聚光部的上述红外线的光轴不同的光轴入射至上述聚光部且在上述聚光部聚光。由于由反射部反射后的红外线以与从上述照射部入射至上述聚光部的上述红外线的光轴不同的光轴入射至上述聚光部，因此红外线不容易返回至照射部。而且，由反射部反射后的红外线由聚光部聚光，因此检测部能够检测到更多的红外线。

上述会聚光的会聚点可以位于上述光学膜与上述反射部之间。

聚光部也可以具有平凸柱透镜。通过利用平凸柱透镜对红外线进行聚光，从而能够抑制入射至光学膜2的光的相对于入射角度的强度变化。

上述聚光部的上述光学膜侧的数值孔径NA也可以满足式(1)。

(在式(1)中，n₀为测定环境的折射率，n为上述光学膜的折射率，λ为上述红外线的中心波长，t为上述光学膜的厚度)

在该情况下，能够将作为入射至光学膜的会聚光的红外线所包含的多条光线的光学膜内的光路长度差设为5λ以上，因此能够更进一步降低光学膜所引起的多重反射的影响。

在将上述聚光部的光轴与上述光学膜的上述聚光部侧的面的垂线所成的角度设为θ时，上述θ也可以满足式(2)。

(在式(2)中，NA为所述聚光部的所述光学膜侧的数值孔径，n₀为测定环境的折射率)

在该情况下，能够增大红外线所包含的多条光线中的向光学膜入射的入射角度的幅宽，因此能够更进一步降低光学膜所引起的的多重反射的影响。

如上所述，根据本实用新型，可提供能够利用红外线而精度良好地测定光学膜的水分率的水分测定装置。

附图说明

图1是表示本实用新型的一实施方式的水分测定装置的简要结构的示意图。