[实用新型]集合式干法制绒装置及生产线

权利要求书

1.一种集合式干法制绒装置，其特征在于，包括前清洗机构、后清洗机构、自动化上下料机构和RIE干法制绒机；

所述前清洗机构与所述自动化上下料机构的进料端连接；

所述后清洗机构与所述自动化上下料机构的出料端连接；

所述RIE干法制绒机与所述自动化上下料机构连接。

2.根据权利要求1所述的集合式干法制绒装置，其特征在于，所述前清洗机构包括依次连接的插片上料机、花篮自动回转机构、自动化清洗机和花篮翻转机械臂，所述花篮翻转机械臂与所述自动化上下料机构的进料端连接；

所述后清洗机构包括依次连接的花篮翻转机械臂、自动化清洗机、自动叠片机和花篮自动回转机构，所述花篮翻转机械臂与所述自动化上下料机构的出料端连接。

3.根据权利要求2所述的集合式干法制绒装置，其特征在于，所述插片上料机包括硅片存放装置、硅片输送装置、花篮提升机构、取料机械手和硅片提升装置；

所述硅片存放装置、硅片输送装置和花篮提升机构依次连接；

所述取料机械手安装在所述硅片存放装置上方；

所述硅片提升装置安装在所述硅片存放装置下方并与所述硅片存放装置连接，从而改变硅片存放装置的高度。

4.根据权利要求2所述的集合式干法制绒装置，其特征在于，所述花篮自动回转机构包括花篮旋转装置、花篮翻转机构一和花篮翻转机构二；

所述花篮旋转装置安装在所述自动化清洗机上，所述花篮翻转机构一安装在所述自动化清洗机的进料端，所述花篮翻转机构二安装在所述自动化清洗机底部。

5.根据权利要求2所述的集合式干法制绒装置，其特征在于，所述自动化清洗机包括槽体机构、机械手抓取移栽机构和干燥机构；

所述机械手抓取移栽机构安装在所述槽体机构上方；

所述干燥机构与所述槽体机构连接，所述槽体机构连接桁架机器人；

所述槽体机构由多个槽体组成，每个槽体内部盛着工艺液体，每个槽体内部集成自动温控单元和自动加液单元。

6.根据权利要求5所述的集合式干法制绒装置，其特征在于，所述花篮翻转机械臂为安装在所述干燥机构端部的多关节机器人。

7.根据权利要求2所述的集合式干法制绒装置，其特征在于，所述自动化上下料机构包括上料花篮进出模组、上料花篮升降模组、上料晶片进给模组、上料移载模组、上料载板定位输送模组、升降模组、下料晶片进给模组、下料移载模组和下料载板定位输送模组；

所述上料花篮进出模组用于将盛满硅片的花篮放入上料花篮升降模组并将空花篮移出；

所述上料花篮升降模组用于将盛满硅片的花篮移动到进花篮位置，满花篮进入，将取走硅片的空花篮移动到出花篮位置，空花篮流出；

所述上料晶片进给模组将硅片移动到载板空位对应的位置并导正；

所述上料移载模组将硅片移动到载板位置，放硅片；

所述上料载板定位输送模组，对载板进行夹紧定位，输送到升降模组；

所述升降模组将放好硅片的载板传输到RIE干法制绒机；

所述下料载板定位输送模组对RIE干法制绒机制绒后的载板进行夹紧定位，输送载板到所述下料移载模组；

所述下料移载模组将载板上的载板上的硅片放置到晶片进给流水线上；

所述下料晶片进给模组将流水线上的硅片输送到打包流水线上。

8.根据权利要求1所述的集合式干法制绒装置，其特征在于，所述RIE干法制绒机包括腔体系统、离子源系统、载板上传输机构和载板下传输机构，所述腔体系统、离子源系统、载板上传输机构依次连接；

所述腔体系统包括五个单独的腔体，分别为装载腔、缓存腔、工艺腔、冷却腔和卸载腔；

所述载板下传输机构设置在所述腔体系统、离子源系统、载板上传输机构的下方。

9.根据权利要求2所述的集合式干法制绒装置，其特征在于，所述自动叠片机包括输送设备、硅片放料机构、直线升降机构、气缸自动倾斜对中装置；

所述硅片放料机构布置在所述输送设备的前端，所述气缸自动倾斜对中装置设置在所述硅片放料机构下方，用于对硅片的位置进行校正；

所述直线升降机构设置在所述气缸自动倾斜对中装置下方。

10.一种生产线，其特征在于，包括权利要求1－9中任一项所述的集合式干法制绒装置。