[实用新型]阵列基板测试设备

权利要求书

1.一种阵列基板测试设备，包括支架和用于放置基板的基板放置区，其特征在于，所述阵列基板测试设备还包括吹气装置，所述吹气装置位于所述基板放置区上方，所述吹气装置包括出气方向倾斜朝向所述基板放置区的风刀管以及连接所述风刀管的运动杆，所述运动杆与所述支架滑动连接，以带动所述风刀管在所述基板放置区域上方移动。

2.根据权利要求1所述的阵列基板测试设备，其特征在于，所述风刀管排出的气体吹扫到的区域的长度大于或等于所述基板放置区的长度。

3.根据权利要求1所述的阵列基板测试设备，其特征在于，所述风刀管的出气方向与基板放置区的夹角成45°。

4.根据权利要求1所述的阵列基板测试设备，其特征在于，所述吹气装置还包括连接所述风刀管的转动装置，所述转动装置用于带动所述风刀管相对于所述运动杆转动，以调整所述风刀管相对于所述基板放置区的出气方向。

5.根据权利要求4所述的阵列基板测试设备，其特征在于，所述转动装置安装至所述运动杆。

6.根据权利要求5所述的阵列基板测试设备，其特征在于，所述转动装置为旋转电机。

7.根据权利要求1所述的阵列基板测试设备，其特征在于，所述风刀管的数量设置为两个，正方向固定时，其中一个风刀管的出气方向与所述基板放置区倾斜角为锐角，另一个风刀管的出气方向与所述基板放置区倾斜角为钝角。

8.根据权利要求7所述的阵列基板测试设备，其特征在于，两个风刀管与所述基板放置区倾斜角互补。

9.根据权利要求7所述的阵列基板测试设备，其特征在于，所述吹气装置还包括控制两个风刀管开关的阀门装置。

10.根据权利要求1所述的阵列基板测试设备，其特征在于，所述阵列基板测试设备还包括Modulator装置，所述支架用于支撑Modulator装置。