[实用新型]一种测试装置

权利要求书

1.一种测试装置，应用于X射线曝光检测器件测试，其特征在于，包括非透光的腔体、光源板、支承柱和探针，所述光源板、所述支承柱以及所述探针设置在所述腔体内；

所述光源板包括分布在所述光源板一侧表面的多个发光体，以及与所述发光体连接的、用于控制所述发光体产生预设强度光的控制部；

所述支承柱设置在所述光源板发射光一侧，由多个所述支承柱形成与光源板平行的支承平面，用于放置待测试器件；

所述探针用于触发所述待测试器件，并在触发时探测到所述待测试器件产生感应电流时发出指示信号。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，还包括设置在所述光源板发射光一侧的、用于将所述光源板产生的光调整光强度均匀的匀光板。

3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述匀光板包括亚克力板和设置在所述亚克力板表面的匀光膜。

4.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述控制部包括：

与所述发光体连接的、用于向所述发光体输出电流的控制电路；

与所述控制电路连接的、用于根据指令向所述控制电路输出电压的处理器。

5.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于，所述控制电路包括第一运算放大器、第二运算放大器、第一场效应管、第二场效应管、第一电阻、第二电阻、第三电阻和第四电阻；

所述第一运算放大器的同相输入端作为所述控制电路的输入端，输出端与所述第一场效应管栅极连接，反相输入端与所述第一场效应管源极连接；

所述第一场效应管漏极与供电端连接，源极接地，在所述第一场效应管源极与接地端之间连接有第一电阻，在所述第一场效应管漏极与供电端之间连接有第二电阻；

所述第二运算放大器的同相输入端与所述第一场效应管漏极连接，反相输入端与供电端连接，输出端与所述第二场效应管栅极连接；

在供电端与所述第二运算放大器的反相输入端之间依次连接有第三电阻和第四电阻；

所述第二场效应管源极与所述第三电阻和所述第四电阻之间线路连接，漏极与所述发光体连接。

6.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，还包括：

用于放置在所述支承柱形成的支承平面上，感应所述光源板产生光的光强度，并转换为电压信号反馈给所述控制部的光强度校准板。

7.根据权利要求6所述的测试装置，其特征在于，所述光强度校准板包含的光强度检测电路包括光电二极管、第三运算放大器和第一电容；

所述第三运算放大器的同相输入端接地，反相输入端与所述光电二极管负极连接，输出端作为所述光强度检测电路的输出端，所述第一电容的一端与所述第三运算放大器的反相输入端连接，另一端与所述第三运算放大器的输出端连接；

所述光电二极管的正极接地。

8.根据权利要求1-7任一项所述的测试装置，其特征在于，还包括与所述探针连接的、用于在所述探针探测到所述待测试器件产生感应电流时点亮的指示灯。

9.根据权利要求1-7任一项所述的测试装置，其特征在于，还包括：

与所述光源板连接的、用于连接外部供电设备的USB接口；

与所述光源板连接的、用于在被触发时控制所述光源板开启运行或者停止运行的按钮。