[实用新型]一种坩埚有效
申请号: | 201720342278.6 | 申请日: | 2017-04-01 |
公开(公告)号: | CN206570396U | 公开(公告)日: | 2017-10-20 |
发明(设计)人: | 李晓虎;薛金祥;王路 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司11262 | 代理人: | 张京波,曲鹏 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 坩埚 | ||
1.一种坩埚,其特征在于,包括:
坩埚本体,所述坩埚本体的内部具有腔室,所述坩埚本体的顶壁上具有通孔,所述腔室与所述通孔相通;
功能盖,铰接安装在所述坩埚本体的顶壁上,用于打开和关闭所述通孔;和
压力开关,安装在所述坩埚本体的顶壁上,用于锁定和解锁所述功能盖;
其中,所述压力开关锁定所述功能盖时,所述功能盖关闭所述通孔;所述腔室内的压力大于外界压力设定值时,所述压力开关解锁所述功能盖,所述功能盖打开所述通孔。
2.根据权利要求1所述的坩埚,其特征在于,所述压力开关包括:
上端具有限位部的升降杆,可上下移动地密封穿装在所述坩埚本体的顶壁上;和
上端具有抵压部的扭转回复件,安装在所述坩埚本体的顶壁上,且所述抵压部位于所述限位部的一旁;
其中,所述功能盖关闭时,所述抵压部的朝向所述限位部的侧面弹性压紧在所述限位部上、所述抵压部的朝向所述功能盖顶面的侧面抵压在所述功能盖的顶面;
所述腔室内的压力大于外界压力设定值时,所述限位部随所述升降杆一起上移而与所述抵压部相分离,所述抵压部朝向所述升降杆侧扭转至所述功能盖的一旁而与所述功能盖相分离。
3.根据权利要求2所述的坩埚,其特征在于,所述升降杆包括:
立柱,可上下移动地密封穿装在所述坩埚本体的顶壁上;和
横置的限位板,一端与所述立柱的顶部相连接、另一端朝向所述扭转回复件,所述限位部为所述限位板的所述另一端。
4.根据权利要求3所述的坩埚,其特征在于,所述立柱的下端设置有防脱部,所述防脱部阻止所述立柱的下端向上脱离所述坩埚本体的顶壁。
5.根据权利要求4所述的坩埚,其特征在于,所述防脱部为设置在所述立柱下端的外侧壁面上的环形凸台。
6.根据权利要求2所述的坩埚,其特征在于,所述扭转回复件包括:
安装柱,固定在所述坩埚本体的顶壁上;
横置的抵压板,一端可横向转动地安装在所述安装柱的顶部;和
第一扭转弹簧,套装在所述安装柱上,所述第一扭转弹簧的一端固定在所述抵压板上、另一端固定在所述坩埚本体的顶壁上,所述抵压部为所述抵压板的另一端。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的坩埚,其特征在于,所述功能盖的一端设置有第一轴座,所述坩埚本体的顶壁上设置有第二轴座,所述第一轴座铰接安装在所述第二轴座上、且所述第一轴座和所述第二轴座之间设置有第二扭转弹簧。
8.根据权利要求7所述的坩埚,其特征在于,所述第二轴座和所述压力开关在所述通孔的周向上均布设置。
9.根据权利要求1至6中任一项所述的坩埚,其特征在于,所述功能盖上还设置有密封圈,所述密封圈用于在所述功能盖关闭时封堵所述功能盖和所述坩埚本体的顶壁之间的缝隙。
10.根据权利要求1至6中任一项所述的坩埚,其特征在于,所述坩埚本体包括:
上端开口的坩埚体;和
顶壁上具有所述通孔的坩埚盖,可分离地固定安装在所述坩埚体上,所述坩埚盖和所述坩埚体之间围成所述腔室。
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