[实用新型]一种坩埚

说明书

技术领域

本文涉及但不限于蒸镀技术，尤指一种坩埚。

背景技术

使用坩埚进行蒸镀工艺时，需要先将坩埚盖打开，然后再将坩埚体(连同坩埚体内放置的蒸镀材料一起)放入到封闭环境中，然后对该封闭环境进行抽真空，以去除封闭环境中的空气。

然而，对于易氧化的蒸镀材料，坩埚体放入到封闭环境中时，虽然坩埚体内有保护气体对蒸镀材料进行防氧化保护，但是抽真空的过程中保护气体与封闭环境中的空气是一起被抽出的，这样蒸镀材料很容易与封闭环境中的氧气接触而被氧化，造成蒸镀材料变质。

实用新型内容

为了解决上述技术问题中的至少之一，本文提供了一种坩埚，在抽真空时，可防止易氧化的蒸镀材料与空气中的氧气接触而氧化变质。

为了达到本文目的，本实用新型提供了一种坩埚，包括：坩埚本体，所述坩埚本体的内部具有腔室，所述坩埚本体的顶壁上具有通孔，所述腔室与所述通孔相通；功能盖，铰接安装在所述坩埚本体的顶壁上，用于打开和关闭所述通孔；和压力开关，安装在所述坩埚本体的顶壁上，用于锁定和解锁所述功能盖；其中，所述压力开关锁定所述功能盖时，所述功能盖关闭所述通孔；所述腔室内的压力大于外界压力设定值时，所述压力开关解锁所述功能盖，所述功能盖打开所述通孔。

可选地，所述压力开关包括：上端具有限位部的升降杆，可上下移动地密封穿装在所述坩埚本体的顶壁上；和上端具有抵压部的扭转回复件，安装在所述坩埚本体的顶壁上，且所述抵压部位于所述限位部的一旁；其中，所述功能盖关闭时，所述抵压部的朝向所述限位部的侧面弹性压紧在所述限位部上、所述抵压部的朝向所述功能盖顶面的侧面抵压在所述功能盖的顶面；所述腔室内的压力大于外界压力设定值时，所述限位部随所述升降杆一起上移而与所述抵压部相分离，所述抵压部朝向所述升降杆侧扭转至所述功能盖的一旁而与所述功能盖相分离。

可选地，所述升降杆包括：立柱，可上下移动地密封穿装在所述坩埚本体的顶壁上；和横置的限位板，一端与所述立柱的顶部相连接、另一端朝向所述扭转回复件，所述限位部为所述限位板的所述另一端。

可选地，所述立柱的下端设置有防脱部，所述防脱部阻止所述立柱的下端向上脱离所述坩埚本体的顶壁。

可选地，所述防脱部为设置在所述立柱下端的外侧壁面上的环形凸台。

可选地，所述扭转回复件包括：安装柱，固定在所述坩埚本体的顶壁上；横置的抵压板，一端可横向转动地安装在所述安装柱的顶部；和第一扭转弹簧，套装在所述安装柱上，所述第一扭转弹簧的一端固定在所述抵压板上、另一端固定在所述坩埚本体的顶壁上，所述抵压部为所述抵压板的另一端。

可选地，所述功能盖的一端设置有第一轴座，所述坩埚本体的顶壁上设置有第二轴座，所述第一轴座铰接安装在所述第二轴座上、且所述第一轴座和所述第二轴座之间设置有第二扭转弹簧。

可选地，所述第二轴座和所述压力开关在所述通孔的周向上均布设置。

可选地，所述功能盖上还设置有密封圈，所述密封圈用于在所述功能盖关闭时封堵所述功能盖和所述坩埚本体的顶壁之间的缝隙。

可选地，所述坩埚本体包括：上端开口的坩埚体；和顶壁上具有所述通孔的坩埚盖，可分离地固定安装在所述坩埚体上，所述坩埚盖和所述坩埚体之间围成所述腔室。

与现有技术相比，本实用新型提供的坩埚，进行蒸镀工艺时，在坩埚本体外的空气被抽走之后，坩埚本体内的压力大于外界压力、且二者的压力差值达到设定值时，坩埚本体内部的压力气体触发压力开关，使压力开关打开功能盖，腔室则通过通孔与外界连通，坩埚本体内的保护气体再被抽走，在抽保护气体的过程中，坩埚本体的外部不再存在氧气，实现了防止易氧化的蒸镀材料氧化变质的目的。

本文的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本文而了解。本文的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

附图用来提供对本文技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本文的技术方案，并不构成对本文技术方案的限制。

图1为本实用新型一个实施例所述的坩埚的结构示意图；

图2为图1所示的坩埚的分解结构示意图；

图3为图1所示的坩埚的功能盖打开状态的结构示意图；

图4为图1所示的坩埚的坩埚盖上侧视角的结构示意图；

图5为图1所示的坩埚的坩埚盖下侧视角的结构示意图。