[实用新型]高等级无尘布防二次污染清洗系统有效
申请号: | 201720370101.7 | 申请日: | 2017-04-11 |
公开(公告)号: | CN206858859U | 公开(公告)日: | 2018-01-09 |
发明(设计)人: | 范银波 | 申请(专利权)人: | 安徽高芯众科半导体有限公司 |
主分类号: | D06F29/00 | 分类号: | D06F29/00 |
代理公司: | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙)32267 | 代理人: | 马广旭 |
地址: | 247099 安徽省池州市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高等级 布防 二次污染 清洗 系统 | ||
1.高等级无尘布防二次污染清洗系统,其特征在于,包括隔墙、清洗机、烘箱,所述隔墙一侧为无尘侧、另一侧为非无尘侧,所述清洗机和烘干机均安装于非无尘侧,清洗机在非无尘侧开有入口门,在无尘侧穿墙并开有出口门,所述烘箱在无尘侧穿墙并开有烘箱门;
所述清洗机内具有相互独立的靠近入口门一侧的洗涤装置和靠近出口门一侧的甩干装置。
2.根据权利要求1所述的高等级无尘布防二次污染清洗系统,其特征在于,所述入口门和烘箱门在隔墙的无尘侧和非无尘侧连接处均具有密封层,密封层的密封方式为液槽密封或胶泥密封。
3.根据权利要求1所述的高等级无尘布防二次污染清洗系统,其特征在于,所述洗涤装置具有清洗液进口和清洗液出口,所述清洗液进口在所述洗涤装置上部,所述清洗液出口在所述洗涤装置下部。
4.根据权利要求1所述的高等级无尘布防二次污染清洗系统,其特征在于,所述清洗机在入口门一侧还具有控制面板,控制面板连接外部控制器,控制器控制洗涤装置和甩干装置的运作和关闭。
5.根据权利要求1所述的高等级无尘布防二次污染清洗系统,其特征在于,所述清洗机的内侧壁为研磨光滑的不锈钢材质,清洗机的清洗洁净等级为100级或10级。
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