[实用新型]高等级无尘布防二次污染清洗系统

说明书

技术领域

本实用新型属于光电清洗技术领域，尤其是高等级无尘布防二次污染清洗系统。

背景技术

光电技术领域使用的零部件，往往对清洁度的要求较高，微小的杂质和尘埃都会影响半导体的性能。因此在光电领域内清洗、清洁技术是非常重要的一系列技术，很多工艺要在洁净室完成。

无尘布广泛应用于半导体装配生产线，LCD显示类产品生产线，精密仪器生产线，光电产品生产线等。无尘布用100%聚酯纤维双编制而成，表面柔软，易于擦拭敏感表面，摩擦不脱纤维，具有良好的吸水性和清洁效率，产品的清洁和包装都在洁净室完成。现有技术中对无尘布进行清洗后进入烘箱，清洗机一般只有一扇门供无尘布清洗前后的出入，清洗机开门处一般是非洁净空间，无尘布完成清洗后，开门取出无尘布进入烘箱过程中无尘布不可避免会沾染上灰尘、污染物等，洁净效果下降；对于一般的无尘布而言这种轻微污染仍能满足要求。对于高等级无尘布而言，这种污染则会大大影响产品的擦拭/清洁性能。高等级无尘布制成无尘服就可满足无尘环境下工人操作的需要。无尘布或者布制品清洗等级分为10级（0.3μm颗粒数<100）、100级（0.3μm颗粒数<250）、1000级（0.3μm颗粒数<500）等，且不同工序清洗等级不同，总的工艺要求较高。因此，对现有高等级无尘布清洗的设备及其组合的结构进行改进，以保证高等级无尘布不被二次污染，是极为重要的。

实用新型内容

实用新型目的：为了改进现有高等级无尘布清洗-烘干步骤的效果，调整工序结构，防止二次污染，本实用新型提供一种结构简单的高等级无尘布防二次污染清洗系统，以解决现有技术中存在的问题。

实用新型内容：高等级无尘布防二次污染清洗系统，包括隔墙、清洗机、烘箱，所述隔墙一侧为无尘侧、另一侧为非无尘侧，所述清洗机和烘干机均安装于非无尘侧，清洗机在非无尘侧开有入口门，在无尘侧穿墙并开有出口门，所述烘箱在无尘侧穿墙并开有烘箱门；

所述清洗机内具有相互独立的靠近入口门一侧的洗涤装置和靠近出口门一侧的甩干装置。

作为优选，所述入口门和烘箱门在隔墙的无尘侧和非无尘侧连接处均具有密封层，密封层的密封方式为液槽密封或胶泥密封。密封的好坏在该体系中直接关系到非无尘侧的微尘进入清洗机或清洗机的残留废渣进入无尘侧；液槽密封和胶泥密封的密封方式比较可靠，密封性能和抗膨胀预应力性能均较好，液槽密封本身具有的还能吸收外部尘埃，具有多重保险的作用。

作为优选，所述洗涤装置具有清洗液进口和清洗液出口，所述清洗液进口在所述洗涤装置上部，所述清洗液出口在所述洗涤装置下部。清洗液的进口和出口直接一体地连接于洗涤装置可以方便操作，也增强了密封性，自动化程度高，只需一次打开和关闭门就可实现一次清洗操作。

作为优选，所述清洗机在入口门一侧还具有控制面板，控制面板连接外部控制器，控制器控制洗涤装置和甩干装置的运作和关闭。控制器和控制面板提高了清洗机的自动化，有利于设备简化和一步到位，减少或避免微尘二次污染无尘布的可能性。

作为优选，所述清洗机的内侧壁为研磨光滑的不锈钢材质，清洗机的清洗洁净等级为100级或10级。光滑侧壁对清洗容器具有更不容易摩擦掉料的优点；100级下，0.3μm颗粒数<250，以预留给干燥、折叠凳工序的更高一级等级的行业工艺要求，而10等级也更有利于无尘布产品质量的提升。

和现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：本实用新型的高等级无尘布防二次污染清洗系统，结构简单、操作方便。隔墙与清洗机和烘箱的配合紧凑而密封，形成一个稳定而可靠的结构；清洗机自动化程度高、操作简化，因而也更适合于超净清洗的工艺要求；出口门和烘箱门开于无尘室一侧更是一个巧妙构思，能够在不提高现有洁净工艺等级的情况下达到洁净无尘布的要求，节约成本；甩干装置靠近无尘侧可以方便下一步的烘干操作，也进一步减少微尘沾染的可能性。本实用新型以简约的设计、低廉的成本，优化了现有清洗无尘布的工艺，使得需要清洗的无尘布一旦进入入口门清洗机就跟无尘室相接，避免了环境带来二次污染。

附图说明

图1是本实用新型实施例的结构示意图。

1-隔墙，11-无尘侧，12-非无尘侧，2-清洗机，21-入口门，22-出口门，23-控制面板，24-洗涤装置，241-清洗液进口，242-清洗液出口，25-甩干装置，3-烘箱，31-烘箱门，4-密封层。

具体实施方式