[实用新型]用于薄膜制程铝铜溅射机台零部件再生的水射流枪

权利要求书

1.用于薄膜制程铝铜溅射机台零部件再生的水射流枪，其特征在于，包括主壳体、副管体、活动连接部，所述主壳体中心具有主水道，主壳体下端一体地围绕有第一限位部，所述副管体上端一体地围绕有第二限位部，所述活动连接部包括上螺套、主轴承、下螺套，所述上螺套套接于主壳体下端并被第一限位部限位，所述下螺套套接于副管体上端并被第二限位部限位，所述第一限位部下表面和第二限位部上表面配合一主轴承，所述上螺套与下螺套以螺纹配合连接；

所述副管体中心贯穿有主水道延伸部并与主水道正对，所述主水道延伸部向下连通有若干副水道，所述副水道围绕副管体向下以螺旋状延伸，所述副水道尾部上侧具有弯折部，副水道末端切线方向与水平方向成斜角，所述副水道末端上部还具有导流块。

2.根据权利要求1所述的用于薄膜制程铝铜溅射机台零部件再生的水射流枪，其特征在于，所述弯折部数量为2，分别为第一弯折部和第二弯折部，第二弯折部末端作为副水道末端。

3.根据权利要求1所述的用于薄膜制程铝铜溅射机台零部件再生的水射流枪，其特征在于，所述副水道的数量为3或4且均匀围绕主水道的中轴线布置。

4.根据权利要求1所述的用于薄膜制程铝铜溅射机台零部件再生的水射流枪，其特征在于，所述第一限位部和第二限位部的外径相等，所述第一限位部和上螺套之间、第二限位部和下螺套之间还分别套接有橡胶垫圈，所述主轴承为平面推力球轴承。

5.根据权利要求1所述的用于薄膜制程铝铜溅射机台零部件再生的水射流枪，其特征在于，所述水射流枪内部介质为纯水或超纯水，所述副水道末端切线方向与水平面所成角度的正切值介于0.004到0.2之间。

6.根据权利要求2所述的用于薄膜制程铝铜溅射机台零部件再生的水射流枪，其特征在于，所述副水道末端下侧所在平面与第二弯折部平行。