[实用新型]用于薄膜制程铝铜溅射机台零部件再生的水射流枪

说明书

技术领域

本实用新型属于光电清洗技术领域，尤其是用于薄膜制程铝铜溅射机台零部件再生的水射流枪。

背景技术

光电技术领域使用的零部件，往往对清洁度、表面均匀度、工艺稳定性的要求较高，微量的杂质、不均匀的表面和膜质等都会影响零部件的性能。因此在光电领域内清洗、打磨、除杂、喷涂等工序是非常重要的一系列技术，很多工艺需要经过对现有的设备进行非标定制才能满足其使用要求。

溅射机台零部件表面有一层膜，膜质使用后不再适用于后续生产要求时，需要对该层膜质进行剥离，从而使零部件再生、重新镀膜。现有水射流具有较高的压力，大约在2400kgf/m²，如果对着机台零部件直射，如此大的压强被零部件吸收，剥离膜层效果虽好，却势必会对零部件表面造成一定的损伤；而如果大幅减小水射流压力，则可能能不至于对机台造成损伤，此时剥离膜层的效果就较差。因此，一方面应该保留较大的水压，使之能够发挥剥离膜层作用，另一方面，改造出水射流的形态，使之更符合剥离膜层的需要，为了能够剥离不同的膜层，针对工艺灵活性进行改进也显得非常有必要。

实用新型内容

实用新型目的：为了改进现有水射流枪的结构，使之符合溅射机台零部件的清洗要求，在不让高水压破坏机台零部件结构的前提下，达到剥离膜质的功能，本实用新型提供一种用于薄膜制程铝铜溅射机台零部件再生的水射流枪，以解决现有技术中存在的问题。

实用新型内容：用于薄膜制程铝铜溅射机台零部件再生的水射流枪，包括主壳体、副管体、活动连接部，所述主壳体中心具有主水道，主壳体下端一体地围绕有第一限位部，所述副管体上端一体地围绕有第二限位部，所述活动连接部包括上螺套、主轴承、下螺套，所述上螺套套接于主壳体下端并被第一限位部限位，所述下螺套套接于副管体上端并被第二限位部限位，所述第一限位部下表面和第二限位部上表面配合一主轴承，所述上螺套与下螺套以螺纹配合连接；

所述副管体中心贯穿有主水道延伸部并与主水道正对，所述主水道延伸部向下连通有若干副水道，所述副水道围绕副管体向下以螺旋状延伸，所述副水道尾部上侧具有弯折部，副水道末端切线方向与水平方向成斜角，所述副水道末端上部还具有导流块。

作为优选，所述弯折部数量为2，分别为第一弯折部和第二弯折部，第二弯折部末端作为副水道末端。弯折部跟导流块一样用于导流，数量为2使导流方向不突变、更平顺。

作为优选，所述副水道的数量为3或4且均匀围绕主水道的中轴线布置。副水道的数量和布置方式能保证清洗除膜时覆盖面广，且实现了效率和经济性的统一。

作为优选，所述第一限位部和第二限位部的外径相等，所述第一限位部和上螺套之间、第二限位部和下螺套之间还分别套接有橡胶垫圈，所述主轴承为平面推力球轴承。橡胶垫既有缓冲作用又有密封作用，平面推力球轴承保障副管体能够顺畅旋转。

作为优选，所述水射流枪内部介质为纯水或超纯水，所述副水道末端切线方向与水平面所成角度的正切值介于0.004到0.2之间。为了清洗效果更好，纯水或超纯水时必要的，且根据工艺情况选取，副水道末端角度具有很大意义，角度反映了工艺的剥离膜质和冲击的分量。

作为优选，所述副水道末端下侧所在平面与第二弯折部平行。副水道末端也为导流部分，尽量保证和上端平行减小水利损失。

和现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：本实用新型的用于薄膜制程铝铜溅射机台零部件再生的水射流枪，结构紧凑、工艺灵活性强。活动连接部灵活方便，可使副管体在主壳体拆装，同时更换垫件而变化水射条件，如将主轴承换成垫片可锁止；副管体由于主轴承的滚动作用和水力反冲作用而在主壳体下旋转，无需外部动力；副管体内部的副水道及其末端的设计能形成因紊流和反射而形成的旋转水流，构思精巧。本实用新型以简洁的结构，不仅实现了管体静止情况下的水射流旋转，也加入了管体本身旋转的机构，工艺灵活多变，对于溅射机台零部件的清洗具有很大的帮助。

附图说明

图1是本实用新型实施例的结构示意图。

1-主壳体，10-主水道，11-第一限位部，12-主水道延伸部，2-副管体，20-副水道，21-第二限位部，22-弯折部，221-第一弯折部，222-第二弯折部，23-导流块，3-活动连接部，31-上螺套，32-主轴承（平面推力球轴承），33-下螺套，34-橡胶垫圈。

具体实施方式