[实用新型]连续式沉积装置

权利要求书

1.一种连续式沉积装置，其特征在于，包含：

一第一固持腔室，其包含一第一固持组件，其设置于该第一固持腔室内；

一第一泵浦，其与该第一固持腔室连接，以调整该第一固持腔室的压力；

一第二固持腔室，其包含一第二固持组件，其设置于该第二固持腔室内，其中一卷材的两端分别固定于该第一固持组件以及该第二固持组件；

一第二泵浦，其与该第二固持腔室连接，以调整该第二固持腔室的压力；以及

多个反应腔室，其彼此连接，其中上游侧的该反应腔室与该第一固持腔室连接，下游侧的该反应腔室与该第二固持腔室连接，使该卷材连续地通过该多个反应腔室，且该多个反应腔室分别提供一反应物沉积于该卷材上。

2.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，该多个反应腔室至少其中之一包含一温度调整单元，用以调整该卷材的温度。

3.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，更包含：

至少一第三泵浦，其连接于该多个反应腔室至少其中之一，以调整该多个反应腔室至少其中之一的压力。

4.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，该多个反应腔室至少其中之一包含一排气口，其设置于该反应腔室之一出口端。

5.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，更包含：

一缓冲腔室，其连接于该多个反应腔室之间或下游侧的该反应腔室与该第二固持腔室之间。

6.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，该反应腔室包含一连接件，使该反应腔室以可拆卸的方式连接该第一固持腔室、该第二固持腔室或另一该反应腔室。

7.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，该多个反应腔室所提供的反应物为相异或部分相同。

8.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，该多个反应腔室进行化学气相沉积或物理气相沉积。

9.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，该卷材包含

由天然纤维、人造纤维、无纺布、滤网、合成皮、真皮、聚乙烯对苯二甲酸酯(Polyethylene Terephthalate，PET)、热塑性聚胺基甲酸酯(Thermoplastic Polyurethane,TPU)、聚氯乙烯(PolyVinyl Chloride，PVC)、聚丙烯(Polypropylene，PP)、或聚四氟乙烯(Polytetrafluoroethylene，PTFE)所制成的带状材料。

10.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，该多个反应腔室的压力相异或部分相同。

11.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，该第一固持腔室及该第二固持腔室各别地包含一对边组件以使该卷材的两端对齐。

12.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，该第一固持腔室及该第二固持腔室各别地包含一张力控制组件以控制该卷材的张力。

13.如权利要求1所述的连续式沉积装置，其特征在于，更包含至少一闸门于该第一固持腔室与该反应腔室之间、该第二固持腔室与该反应腔室之间、或相邻的该反应腔室之间，该卷材是穿过该至少一闸门而连续地通过该多个反应腔室。