[实用新型]连续式沉积装置

说明书

【技术领域】

本实用新型是有关一种沉积装置，特别是有关于一种连续式沉积装置。

【背景技术】

气相沉积制程在各种领域中均被广泛的应用，其中，在化学气相沉积反应中，是将一种或多种不同的前驱物暴露于基材表面以产生化学反应而进行沉积，一般来说，为了获得高纯度的产物，在沉积反应中调整压力是用于将不需要的气体去除，以避免产生非必要的反应而获得杂质，因此在不同的反应物沉积过程中，常需要进行反复的抽真空/破真空步骤。然而，在沉积制程的研发中，目前有需要在同一基材上进行多种反应物的沉积反应，若以传统方法反复进行抽真空/破真空步骤，则可能需要耗费较多时间，且亦将制程步骤复杂化。若能提供一种能连续性的执行多种沉积制程的装置，应可有利于时间成本的节省并提升产率。

【实用新型内容】

本实用新型提供一种连续式沉积装置，通过将多个沉积腔室相互结合，以达到连续化制程的目的，可避免传统制程需要反复进行抽真空/破真空的步骤，因而可节省制程时间，增进经济效益。

本实用新型提供一种连续式沉积装置，其包含：第一固持腔室，其包含第一固持组件，其设置于第一固持腔室内；第一泵浦，其与第一固持腔室连接，以调整第一固持腔室的压力；第二固持腔室，其包含第二固持组件，其设置于第二固持腔室内，其中卷材的两端分别固定于第一固持组件以及第二固持组件；第二泵浦，其与第二固持腔室连接，以调整第二固持腔室的压力；多个反应腔室，其彼此连接，其中上游侧的反应腔室与第一固持腔室连接，下游侧的反应腔室与第二固持腔室连接，使卷材连续地通过多个反应腔室，且多个反应腔室分别提供反应物沉积于该卷材上。

以下借由具体实施例配合所附的图式详加说明，当更容易了解本实用新型的目的、技术内容、特点及其所达成的功效。

【附图说明】

图1为根据本实用新型实施例的连续式沉积装置的示意图。

图2为根据本实用新型另一实施例的连续式沉积装置的部分示意图。

图3A及图3B为根据本实用新型另一实施例的连续式沉积装置的示意图。

【符号说明】

11 第一固持腔室

12 第二固持腔室

21 第一固持组件

22 第二固持组件

23 第三固持组件

30、31、32、33反应腔室

40 卷材

50 温度调整单元

60 缓冲腔室

100连续式沉积装置

101第一泵浦

102第二泵浦

103第三泵浦

301排气口

302连接件

303对边组件

304张力控制组件

305闸门

【具体实施方式】

以下将详述本实用新型的各实施例，并配合图式作为例示。除了该多个详细说明之外，本实用新型亦可广泛地施行于其它的实施例中，任何所述实施例的轻易替代、修改、等效变化都包含在本实用新型的范围内，并以申请专利范围为准。在说明书的描述中，为了使读者对本实用新型有较完整的了解，提供了许多特定细节；然而，本实用新型可能在省略部分或全部特定细节的前提下，仍可实施。此外，众所周知的步骤或组件并未描述于细节中，以避免对本实用新型形成不必要的限制。图式中相同或类似的组件将以相同或类似符号来表示。特别注意的是，图式仅为示意之用，并非代表组件实际的尺寸或数量，有些细节可能未完全绘出，以求图式的简洁。

请参照图1，本实用新型一实施例的连续式沉积装置100包含第一固持腔室11、第二固持腔室12、以及多个反应室30。其中，第一固持腔室11包含第一固持组件21设置于其中，且第一固持腔室11连接有第一泵浦101以用于调整第一固持腔室11的压力。第二固持腔室12包含第二固持组件22设置于其中，且第二固持腔室12连接有第二泵浦102以用于调整第二固持腔室12的压力。其中，卷材40的两端是分别地固定于第一固持组件21及第二固持组件22，且连续式沉积装置100可更包含至少一第三固持组件23于各反应腔室31、32、33中，以支撑通过反应腔室的卷材。其中，第三固持组件23是例示性的绘示为滚轮，然本实用新型并不限制于此，其可为任何用于支撑卷材的形状或组件。