[实用新型]晶圆抛光工艺用的货架有效
| 申请号： | 201720375924.9 | 申请日： | 2017-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN207139554U | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 李春;黄荣燕 | 申请（专利权）人： | 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;B08B3/02 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 | 代理人： | 曹祖良,屠志力 |
| 地址： | 214194 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光 工艺 货架 | ||
1.一种晶圆抛光工艺用的货架，其特征在于，包括：底板(100)、前下盖板(113)、后盖板(101)、上盖板(104)、进水管(105)、排水管(108)、第一喷淋头(102)、载板(106)、模板(109)、和感应装置(103)；
前下盖板(113)竖立连接在底板(100)前端，后盖板(101)竖立连接在底板(100)后端；载板(106)斜向搁置在前下盖板(113)上，向后盖板(101)方向下倾斜；模板(109)放置于载板(106)上，并被载板(106)前端表面设置的凸点(112)所挡住；
后盖板(101)的内侧连接第一喷淋头(102)，外侧连接进水管(105)；第一喷淋头(102)位于模板(109)上方；第一喷淋头(102)上排布有喷水孔(1021)；所述第一喷淋头(102)与进水管(105)连接；在后盖板(101)底部外侧还连接出水管(108)；
上盖板(104)与后盖板(101)连接或独立设置，上盖板(104)上设有感应装置(103)。
2.如权利要求1所述的晶圆抛光工艺用的货架，其特征在于，
在后盖板(101)下部内侧还设有一个或数个间隔设置的内凸起(107)。
3.如权利要求1所述的晶圆抛光工艺用的货架，其特征在于，
第一喷淋头(102)上喷水孔方向为向四周呈半球状喷淋。
4.如权利要求1所述的晶圆抛光工艺用的货架，其特征在于，
载板(106)上设置卡槽(111)，所述凸点(112)置于卡槽(111)内。
5.如权利要求1、2、3或4所述的晶圆抛光工艺用的货架，其特征在于，
所述货架还包括前上盖板(201)和第二喷淋头(202)；
前上盖板(201)连接在上盖板(104)上，并且在前上盖板(201)上设置第二喷淋头(202)。
6.如权利要求5所述的晶圆抛光工艺用的货架，其特征在于，
第二喷淋头(202)上喷水孔方向为向四周呈半球状喷淋。
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