[实用新型]旋干机的桶槽结构有效
| 申请号： | 201720376158.8 | 申请日： | 2017-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN206803606U | 公开（公告）日： | 2017-12-26 |
| 发明（设计）人： | 张振;钱宏亮;李晓明;吕晓飞;王豪 | 申请（专利权）人： | 江苏晶瑞半导体有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B21/14;F26B25/00 |
| 代理公司： | 常州知融专利代理事务所(普通合伙)32302 | 代理人： | 路接洲 |
| 地址： | 213314 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旋干机 结构 | ||
1.一种旋干机的桶槽结构，包括圆筒形反应槽，其特征在于：
所述反应槽的一端为开口，另一端连接有端板，所述端板中间开设有通孔，所述通孔上安装有皮碗密封件，所述皮碗密封件的边缘上连接有密封环，端板边缘处连接有静电消除器及氮气阀；
所述反应槽的外侧壁上通过螺栓固定有氮气喷嘴组件，反应槽相对于所述氮气喷嘴组件一侧的外壁上连接有柔性加热器垫，反应槽外壁上、柔性加热器垫与氮气喷嘴组件的中间通过螺栓连接有去离子水喷嘴组件。
2.根据权利要求1所述的旋干机的桶槽结构，其特征在于：所述静电消除器安装在静电消除器座上，所述静电消除器座通过螺栓安装在端板边缘处；所述氮气阀安装在氮气阀座上，所述氮气阀座通过螺栓安装在端板边缘处。
3.根据权利要求2所述的旋干机的桶槽结构，其特征在于：所述氮气阀呈长方体结构，氮气阀的一侧面上连接有90°管接，其另一侧面上通过直接头连接有三通接头，所述三通接头的其余两个接头分别连接压力开关和T型管接。
4.根据权利要求1所述的旋干机的桶槽结构，其特征在于：所述氮气喷嘴组件包括氮气喷嘴座和氮气喷嘴安装座，所述氮气喷嘴安装座通过螺栓安装在反应槽外侧壁上。
5.根据权利要求1所述的旋干机的桶槽结构，其特征在于：所述去离子水喷嘴组件包括去离子水喷嘴座和去离子水喷嘴安装座，所述去离子水喷嘴安装座通过螺栓安装在反应槽外侧壁上。
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