[实用新型]旋干机的桶槽结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及晶片加工技术领域，尤其是一种旋干机的桶槽结构。

背景技术

旋干机利用旋转离心力的方式进行去离子水冲洗、热氮气烘干，去离子水电阻率监控、氮气加温、防静电控制以及系统洁净化处理来达到高洁净度的片子清洗效果。设备由主机、相互独立的工作腔体、片架载体、去离子水、氮气控制系统，以及PLC控制和操作系统组成。

世界第一台旋转冲洗甩干机1979年由美国SEMITOOL公司推出。SEMITOOL的STI-S系列机型代表了该类设备的最高水平,最大可适应12英寸规格工艺流片。近几年国外该类设备朝着整合清洗功能，采纳新技术，新工艺的方向发展。国内在该技术领域与国外相比差距十分明显，主要是配套能力和加工工艺方面的问题。

国内现有的旋干机干燥时间长，反应槽受热面积不均匀，氮气加热时会使晶片发生水痕现象，所以需要改进现有反应槽的结构。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术中之不足，提供一种旋干机的桶槽结构。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种旋干机的桶槽结构，包括圆筒形反应槽，

所述反应槽的一端为开口，另一端连接有端板，所述端板中间开设有通孔，所述通孔上安装有皮碗密封件，所述皮碗密封件的边缘上连接有密封环，端板边缘处连接有静电消除器及氮气阀；

所述反应槽的外侧壁上通过螺栓固定有氮气喷嘴组件，反应槽相对于所述氮气喷嘴组件一侧的外壁上连接有柔性加热器垫，反应槽外壁上、柔性加热器垫与氮气喷嘴组件的中间通过螺栓连接有去离子水喷嘴组件。

柔性加热器就是其基材均采用轻薄柔软、易弯曲、形状可配合各种设计和使用要求而定制的加热器。产品具有良好的热效率，确保经久可靠的使用寿命。柔性加热器是以各类发热膜为主导，这些发热膜都具有节能，高热转换率，质地柔软，使用寿命长的特点。

进一步地，所述静电消除器安装在静电消除器座上，所述静电消除器座通过螺栓安装在端板边缘处；所述氮气阀安装在氮气阀座上，所述氮气阀座通过螺栓安装在端板边缘处。

更进一步地，所述氮气阀呈长方体结构，氮气阀的一侧面上连接有90°管接，其另一侧面上通过直接头连接有三通接头，所述三通接头的其余两个接头分别连接压力开关和T型管接。

进一步地，所述氮气喷嘴组件包括氮气喷嘴座和氮气喷嘴安装座，所述氮气喷嘴安装座通过螺栓安装在反应槽外侧壁上。

进一步地，所述去离子水喷嘴组件包括去离子水喷嘴座和去离子水喷嘴安装座，所述去离子水喷嘴安装座通过螺栓安装在反应槽外侧壁上。

本实用新型的有益效果是：本实用新型可以使用最短时间达到旋干晶片的目的，反应槽上采用柔性加热器垫，大幅增加受热面积与均匀度，氮气由反应槽上方均匀释放于反应槽中，可以避免晶片发生水痕现象。

附图说明

下面结合附图和实施方式对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的爆炸图。

图中：1.反应槽，2.端板，3.皮碗密封件，4.密封环，5.静电消除器，6.氮气阀，7.柔性加热器垫，8.静电消除器座，9.氮气阀座，10.90°管接，11.直接头，12.三通接头，13.压力开关，14.T型管接，15.氮气喷嘴座，16.氮气喷嘴安装座，17.去离子水喷嘴座，18.去离子水喷嘴安装座。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步的说明。这些附图均为简化的示意图仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1所示的一种旋干机的桶槽结构，包括圆筒形反应槽1，反应槽1的一端为开口，另一端连接有端板2，端板2中间开设有通孔，通孔上安装有皮碗密封件3，皮碗密封件3的边缘上连接有密封环4，端板2边缘处连接有静电消除器5及氮气阀6；反应槽1的外侧壁上通过螺栓固定有氮气喷嘴组件，反应槽1相对于所述氮气喷嘴组件一侧的外壁上连接有柔性加热器垫7，反应槽1外壁上、柔性加热器垫7与氮气喷嘴组件的中间通过螺栓连接有去离子水喷嘴组件。

其中，静电消除器5安装在静电消除器座8上，静电消除器5座通过螺栓安装在端板2边缘处；氮气阀6安装在氮气阀座9上，氮气阀座9通过螺栓安装在端板2边缘处。氮气阀6呈长方体结构，氮气阀6的一侧面上连接有90°管接10，其另一侧面上通过直接头11连接有三通接头12，三通接头12的其余两个接头分别连接压力开关13和T型管接14。