[实用新型]一种半导体设备用过滤板有效
| 申请号： | 201720407390.3 | 申请日： | 2017-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN206730701U | 公开（公告）日： | 2017-12-12 |
| 发明（设计）人： | 郑隆梁 | 申请（专利权）人： | 上海济顺精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/00 | 分类号： | B01D46/00;B01D46/10;B01D46/42 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 201600 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 备用 过滤 | ||
【权利要求书】：
1.一种半导体设备用过滤板，其特征在于，包括矩形板体，所述矩形板体上设有喷气孔、第一安装孔、第二安装孔和安装槽，所述安装槽成排均匀分布于所述矩形板体上，所述喷气孔两个一组对称设于所述安装槽的两侧，所述第一安装孔均匀分布于所述矩形板体的相邻两侧边和中部，所述第二安装孔均匀分布于所述矩形板体的具有所述第一安装孔的侧边、中部和相邻所述安装槽之间，所述矩形板体的侧边及中部的所述第一安装孔和所述第二安装孔相互间隔排列。
2.如权利要求1所述半导体设备用过滤板，其特征在于，所述喷气孔为腰型孔。
3.如权利要求1所述半导体设备用过滤板，其特征在于，所述矩形板体采用MIC-6。
4.如权利要求1所述半导体设备用过滤板，其特征在于，所述矩形板体上还设有刻字区。
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