[实用新型]一种半导体设备用过滤板

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械制造技术领域，尤其涉及一种半导体设备用过滤板。

背景技术

半导体设备用过滤板的应用领域广泛，目前的半导体设备用过滤板的结构设计存在一定问题，导致通气量不均匀，抗震性差，拆装不便。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种半导体设备用过滤板，以解决现有技术中的不足。

为了达到上述目的，本实用新型的目的是通过下述技术方案实现的：

提供一种半导体设备用过滤板，包括矩形板体，所述矩形板体上设有喷气孔、第一安装孔、第二安装孔和安装槽，所述安装槽成排均匀分布于所述矩形板体上，所述喷气孔两个一组对称设于所述安装槽的两侧，所述第一安装孔均匀分布于所述矩形板体的相邻两侧边和中部，所述第二安装孔均匀分布于所述矩形板体的具有所述第一安装孔的侧边、中部和相邻所述安装槽之间，所述矩形板体的侧边及中部的所述第一安装孔和所述第二安装孔相互间隔排列。

上述半导体设备用过滤板，其中，所述喷气孔为腰型孔。

上述半导体设备用过滤板，其中，所述矩形板体采用MIC-6。

上述半导体设备用过滤板，其中，所述矩形板体上还设有刻字区。

与已有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

结构设计合理，通气量均匀，提高抗震性能，拆装方便。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示出了本实用新型半导体设备用过滤板的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

参考图1所示，本实用新型半导体设备用过滤板包括矩形板体1，矩形板体1上设有喷气孔2、第一安装孔3、第二安装孔4和安装槽5，安装槽5成排均匀分布于矩形板体1上，喷气孔2两个一组对称设于安装槽5的两侧，第一安装孔3均匀分布于矩形板体1的相邻两侧边和中部，第二安装孔4均匀分布于矩形板体1的具有第一安装孔3的侧边、中部和相邻安装槽5之间，矩形板体1的侧边及中部的第一安装孔3和第二安装孔4相互间隔排列。本技术方案中，喷气孔2为腰型孔，矩形板体1采用MIC-6，MIC-6具有良好的可成型性、可焊接性，强度高，易于加工，抗腐蚀性、抗氧化性好。另外，矩形板体1上还设有刻字区6。

从上述实施例可以看出，本实用新型的优势在于：

结构设计合理，通气量均匀，提高抗震性能，拆装方便。

以上对本实用新型的具体实施例进行了详细描述，但本实用新型并不限制于以上描述的具体实施例，其只是作为范例。对于本领域技术人员而言，任何等同修改和替代也都在本实用新型的范畴之中。因此，在不脱离本实用新型的精神和范围下所作出的均等变换和修改，都应涵盖在本实用新型的范围内。