[实用新型]立式磁控溅射镀膜用的偏压结构及其夹持装置

权利要求书

1.一种立式磁控溅射镀膜用的偏压结构，其特征在于，包括相对于待镀膜基片(70)固定的一对安装座(10)，设置于所述一对安装座(10)之间的偏压部(20)，设置于每个安装座(10)和所述偏压部(20)之间的扭簧(30)，每个扭簧(30)的第一端部相对于所述偏压部(20)固定，第二端部相对于相应的所述安装座(10)固定，以使得所述偏压部(20)能够弹性偏压到所述待镀膜基片(70)上，并且所述偏压部(20)具有与所述待镀膜基片(70)接触且相互间隔开的第一偏压面(51)和第二偏压面(52)。

2.根据权利要求1所述的立式磁控溅射镀膜用的偏压结构，其特征在于，每个安装座(10)和所述偏压部(20)开设有首尾相接且沿轴向延伸的第一凹槽(11)，一对所述扭簧(30)沿轴向对齐并分别嵌入到相应的所述第一凹槽(11)中，所述安装座(10)上还开设有沿轴向延伸且与每个第一凹槽(11)相连通的第二凹槽(12)，所述偏压结构还包括穿过所述偏压部(20)上的转轴(40)，该转轴(40)穿过一对所述扭簧(30)且两端分别嵌入到所述第二凹槽(12)中。

3.根据权利要求2所述的立式磁控溅射镀膜用的偏压结构，其特征在于，所述转轴(40)相对于所述偏压部(20)固定，并且可转动地设置于所述第二凹槽(12)中。

4.根据权利要求2或3所述的立式磁控溅射镀膜用的偏压结构，其特征在于，所述偏压部(20)包括形成为沿垂直于所述轴向延伸的条形板本体(21)，以及设置在该条形板本体(21)上且沿轴向间隔设置的一对耳板(22)，所述一对耳板(22)套设于所述转轴(40)上，并且所述条形板本体(21)的位于所述一对耳板(22)轴向的相对两侧分别形成有部分的所述第一凹槽(11)。

5.根据权利要求4所述的立式磁控溅射镀膜用的偏压结构，其特征在于，所述条形板本体(21)上形成有沿垂直于所述轴向延伸且与所述第一凹槽(11)相连通的第三凹槽(13)，所述安装座(10)上形成有平行于所述第三凹槽(13)且与所述第一凹槽(11)相连通的第四凹槽(14)，所述扭簧(30)的第一端部嵌入并限位于所述第三凹槽(13)中，所述扭簧(30)的第二端部嵌入并限位于所述第四凹槽(14)中。

6.根据权利要求4所述的立式磁控溅射镀膜用的偏压结构，其特征在于，所述偏压部(20)还包括固定到所述条形板本体(21)的远离所述转轴(40)的端部上的压块(50)，所述第一偏压面(51)和第二偏压面(52)形成于所述压块(50)上。

7.根据权利要求6所述的立式磁控溅射镀膜用的偏压结构，其特征在于，所述压块(50)的背离所述条形板本体(21)的端面形成为朝向所述条形板本体(21)凹陷的“几”字型结构，所述第一偏压面(51)和第二偏压面(52)分别形成于所述“几”字型结构的相对两端上。

8.根据权利要求1所述的立式磁控溅射镀膜用的偏压结构，其特征在于，所述扭簧(30)为由铬镍铁基合金制成。

9.根据权利要求1所述的立式磁控溅射镀膜用的偏压结构，其特征在于，所述安装座(10)由钛基合金制成。

10.一种立式磁控溅射镀膜用的夹持装置，其特征在于，包括形成为回字形结构的固定支架(60)，该回字形结构的内周壁上形成有沿周向延伸的L形止挡结构(61)，所述回字形结构上还固定有根据权利要求1至9中任意一项所述的立式磁控溅射镀膜用的偏压结构(100)，其中，所述偏压部(20)将所述待镀膜基片(70)压紧到所述L形止挡结构(61)中。