[实用新型]测量装置及基板玻璃垂度测量设备

权利要求书

1.一种测量装置，其特征在于，所述测量装置包括显微镜(1)及刻度尺(2)，所述显微镜(1)的物镜(11)上具有多条第一刻度线(12)，所述刻度尺(2)具有多条第二刻度线(21)，所述显微镜(1)和所述刻度尺(2)设置为所述第一刻度线(12)能够与所述第二刻度线(21)配合进行测量。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述测量装置还包括支架(3)，所述显微镜(1)安装在所述支架(3)上且能相对所述支架(3)进行高度调节，所述刻度尺(2)相对所述支架(3)固定。

3.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，所述显微镜(1)设置为所述物镜(11)的轴线垂直于所述刻度尺(2)的长度方向。

4.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，所述支架(3)包括底座(31)及所述底座(31)上设置的滑杆(32)，所述显微镜(1)安装在所述滑杆(32)上并能够沿所述滑杆(32)上下滑动。

5.根据权利要求4所述的测量装置，其特征在于，与所述滑杆(32)连接有用于旋转以使得所述显微镜(1)在所述滑杆(32)上滑动并能够将所述显微镜(1)固定在所述滑杆(32)上的控制旋钮(33)。

6.根据权利要求4所述的测量装置，其特征在于，所述滑杆(32)垂直于所述底座(31)的底面。

7.根据权利要求6所述的测量装置，其特征在于，所述刻度尺(2)垂直于所述底座(31)的底面。

8.一种基板玻璃垂度测量设备，其特征在于，包括有根据权利要求1-7中任意一项所述的测量装置。

9.根据权利要求8所述的基板玻璃垂度测量设备，其特征在于，所述基板玻璃垂度测量设备还包括测量平台(6)，所述测量平台(6)上设置有所述测量装置以及用于支撑基板玻璃的玻璃支架(5)。

10.根据权利要求9所述的基板玻璃垂度测量设备，其特征在于，所述刻度尺(2)的长度方向垂直于所述测量平台(6)的上平面。