[实用新型]冷却机及冷却系统及真空等离子设备

权利要求书

1.一种冷却机，其特征在于，包括：

储液槽，用于存储冷却液；

温控机构；

出液管路，用于连接所述温控机构与所述储液槽；

外输管路，用于连接所述温控机构与待冷却设备；

回液管路，用于连接所述储液槽与待冷却设备；

第一液阀，设置在所述外输管路上；

第二液阀，设置在所述回液管路上；

气推管路，连接于所述外输管路以及所述回液管路之间，以引入气压并利用气压将冷却液推入待冷却设备；

以及三通阀，设置在所述气推管路上；所述三通阀的进口连接气源，所述三通阀的第一出口通过所述气推管路与所述外输管路连通，所述三通阀的第二出口通过所述气推管路与回液管路连通。

2.根据权利要求1所述的冷却机，其特征在于，所述冷却机还包括用于控制所述第一液阀、所述第二液阀以及所述三通阀的控制器。

3.根据权利要求2所述的冷却机，其特征在于，所述控制器包括正洗模式；在所述正洗模式下，所述控制器控制所述第一液阀关闭、所述第二液阀打开、所述三通阀的第一出口打开、第二出口关闭。

4.根据权利要求2所述的冷却机，其特征在于，所述控制器包括反洗模式；在所述反洗模式下，所述控制器控制所述第一液阀打开、所述第二液阀关闭、所述三通阀的第一出口关闭、第二出口打开。

5.根据权利要求2所述的冷却机，其特征在于，所述控制器包括震荡洗模式；在所述震荡洗模式下，交替进行正洗模式及反洗模式；

在所述正洗模式下，所述控制器控制所述第一液阀关闭、所述第二液阀打开、所述三通阀的第一出口打开、第二出口关闭；

在所述反洗模式下，所述控制器控制所述第一液阀打开、所述第二液阀关闭、所述三通阀的第一出口关闭、第二出口打开。

6.根据权利要求5所述的冷却机，其特征在于，所述冷却机还包括计时单元，所述计时单元与所述控制器电连接。

7.根据权利要求1所述的冷却机，其特征在于，所述冷却机还包括：

排污管路，与所述储液槽连通；

以及排污阀，设置在所述排污管路上。

8.根据权利要求7所述的冷却机，其特征在于，所述排污阀为手动阀。

9.一种冷却系统，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的冷却机。

10.一种真空等离子设备，其特征在于，包括权利要求9所述的冷却系统。