[实用新型]冷却机及冷却系统及真空等离子设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及冷却技术领域，特别是涉及一种冷却机及冷却系统及真空等离子设备。

背景技术

在真空等离子设备中，都会用到冷却机(chiller)，冷却机用于平衡加热和冷却系统，进而提高工艺的稳定性。

但是，真空等离子设备在运行过程中会产生碎屑(例如管路腐蚀等原因)，碎屑会造成电极板及腔体加热部分的毛细管路堵塞，部分碎屑通过加热还会粘附在设备上进而导致温度控制异常、压力异常等现象，从而导致生产的产品不良。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有技术中真空等离子设备堵塞的问题，提供一种能够清洗碎屑、防止真空等离子设备堵塞的冷却机。

一种冷却机，包括：

储液槽，用于存储冷却液；

温控机构；

出液管路，用于连接所述温控机构与所述储液槽；

外输管路，用于连接所述温控机构与待冷却设备；

回液管路，用于连接所述储液槽与待冷却设备；

第一液阀，设置在所述外输管路上；

第二液阀，设置在所述回液管路上；

气推管路，连接于所述外输管路以及所述回液管路之间，以引入气压并利用气压将冷却液推入待冷却设备；

以及三通阀，设置在所述气推管路上；所述三通阀的进口连接气源，所述三通阀的第一出口通过所述气推管路与所述外输管路连通，所述三通阀的第二出口通过所述气推管路与回液管路连通。

上述冷却机，可以采用气推的方式，用冷却液对待冷却设备进行冲洗，从而将碎屑从待冷却设备上冲刷下来，进而避免了堵塞，从而保证的设备的正常运行，确保产品的质量。

在其中一个实施例中，所述冷却机还包括用于控制所述第一液阀、所述第二液阀以及所述三通阀的控制器。

在其中一个实施例中，所述控制器包括正洗模式；在所述正洗模式下，所述控制器控制所述第一液阀关闭、所述第二液阀打开、所述三通阀的第一出口打开、第二出口关闭。

在其中一个实施例中，所述控制器包括反洗模式；在所述反洗模式下，所述控制器控制所述第一液阀打开、所述第二液阀关闭、所述三通阀的第一出口关闭、第二出口打开。

在其中一个实施例中，所述控制器包括震荡洗模式；在所述震荡洗模式下，交替进行正洗模式及反洗模式；

在所述正洗模式下，所述控制器控制所述第一液阀关闭、所述第二液阀打开、所述三通阀的第一出口打开、第二出口关闭；

在所述反洗模式下，所述控制器控制所述第一液阀打开、所述第二液阀关闭、所述三通阀的第一出口关闭、第二出口打开。

在其中一个实施例中，所述冷却机还包括计时单元，所述计时单元与所述控制器电连接。

在其中一个实施例中，所述冷却机还包括：

排污管路，与所述储液槽连通；

以及排污阀，设置在所述排污管路上。

在其中一个实施例中，所述排污阀为手动阀。

本实用新型还提供了一种冷却系统。

一种冷却系统，包括本实用新型所提供的冷却机。

上述冷却系统，由于采用本实用新型所提供的冷却机，可以采用气推的方式，用冷却液对待冷却设备进行冲洗，从而将碎屑从待冷却设备上冲刷下来，故而避免了堵塞，从而保证的设备的正常运行，确保产品的质量。

本实用新型还提供了一种真空等离子设备。

一种真空等离子设备，包括本实用新型所提供的冷却系统。

上述真空等离子设备，由于采用本实用新型所提供的冷却系统，可以采用气推的方式，用冷却液对待冷却设备进行冲洗，从而将碎屑从待冷却设备上冲刷下来，故而避免了堵塞，从而保证设备的正常运行，确保产品的质量。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的冷却机的结构示意图，此时处于正常工作模式。

图2为图1中的冷却机在反洗模式下的状态原理图。

图3为图1中的冷却机在正洗模式下的状态原理图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合具体实施方式，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施方式仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。