[实用新型]一种高纯硅烷的质量分析装置

权利要求书

1.一种高纯硅烷的质量分析装置，包括分析仪（1）和支架（2），所述分析仪（1）其内部设置有检测模块、分析模块、显示装置、吸气泵、电源和控制装置，所述分析仪（1）表面设置有液晶显示屏（11）、控制按键（12）、进气口（13）和出气口（14），所述进气口（13）一端与吸气泵连接，另一端外接有采样手柄，其特征在于：所述分析仪（1）下表面的两侧固定设置有滑块（15），所述支架（2）包括支撑板（21）和支架腿（22），所述支撑板（21）上表面设置有与所述滑块（15）结构相配合的滑槽（211），下表面设置挡板（23），所述挡板（23）位于所述支架腿（22）上端的两侧，所述挡板（23）的中心处和所述支架腿（22）的上端设置有结构相同的通孔（231），所述挡板（23）的外侧分别设置有限位板a（24）和限位板b（25），所述限位板a（24）与所述支撑板（21）下表面固定连接，所述限位板b（25）与所述支架腿（22）固定连接，所述限位板a（24）和所述限位板b（25）的中心位置分别设置有与所述通孔（231）直径相同的圆形凹槽（241）和螺孔（251），所述支架腿（22）、所述限位板a（24）、所述限位板b（25）和所述挡板（23）之间通过连接螺丝（26）连接，所述通孔（231）内未设置螺纹，所述圆形凹槽（241）和所述螺孔（251）内表面设置有与所述连接螺丝（26）相配合的螺纹，所述支架腿（22）的下端设置有高度调节装置（27）。

2.如权利要求1所述的一种高纯硅烷的质量分析装置，其特征在于：所述滑槽（211）之间设置有锂电池（3）。

3.如权利要求1所述的一种高纯硅烷的质量分析装置，其特征在于：所述支撑板（21）的两侧分别设置有紧固螺丝（212），所述紧固螺丝（212）穿过所述滑槽（211）与所述滑块（15）连接。

4.如权利要求1所述的一种高纯硅烷的质量分析装置，其特征在于：所述通孔（231）、所述螺孔（251）和所述圆形凹槽（241）的直径相同，其中心位于同一直线上。

5.如权利要求1或4所述的一种高纯硅烷的质量分析装置，其特征在于：所述圆形凹槽（241）的深度为所述限位板a（24）厚度的一半。

6.如权利要求1所述的一种高纯硅烷的质量分析装置，其特征在于：所述支架腿（22）有三个，分别均匀设置在所述支撑板（21）的下端。

7.如权利要求1所述的一种高纯硅烷的质量分析装置，其特征在于：所述支架腿（22）的下端设置有高度调节装置（27），高度调节装置（27）包括第一支杆（271）、第二支杆（272）、紧固块（273）和调节螺丝（274），所述第一支杆（271）位于所述第二支杆（272）外端，所述第一支杆（271）下端固定设置有紧固块（273），所述紧固块（273）上设置有调节螺丝（274），所述调节螺丝（274）穿过所述第一支杆（271）与第二支杆（272）接触。