[实用新型]一种高纯硅烷的质量分析装置有效

专利信息
申请号: 201720445416.3 申请日: 2017-04-26
公开(公告)号: CN206788136U 公开(公告)日: 2017-12-22
发明(设计)人: 蔡前进;孟国均;梁涌涛 申请(专利权)人: 河南硅烷科技发展股份有限公司
主分类号: G01N33/00 分类号: G01N33/00
代理公司: 许昌豫创知识产权代理事务所(特殊普通合伙)41140 代理人: 李海帆
地址: 461700 河南省*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 高纯 硅烷 质量 分析 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型属于化工设备技术领域,具体涉及一种高纯硅烷的质量分析装置。

背景技术

目前,硅烷是一种电子气体,同其他硅源化合物相比,硅烷因其独具的特性而被优先使用,广泛应用于电子、信息、能源、材料等领域,是许多未来新兴产业所必不可少的一种气体,硅烷在使用的过程中,其纯度和质量直接影响了后续产品的质量,现有的硅烷质量分析装置大多是采用质量分析仪器,首先,利用与吸气泵连接的采样手柄进行硅烷的采样,然后,通过其内部的分析模块和检测模块对其质量进行分析,但是现有的质量分析仪器其下端连接的支架调节范围有限且调节很不方便,若接触面凹凸不平时,很容易产生晃动,进而带动分析仪晃动,影响分析结果,并且质量分析仪器属于精密仪器,晃动时若产生碰撞,很容易造成仪器的损坏;为解决上述问题,开发一种操作便捷且连接稳固可靠的高纯硅烷质量分析装置很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足,而提供一种操作便捷且连接稳固可靠的高纯硅烷质量分析装置。

本实用新型的目的是这样实现的:一种高纯硅烷的质量分析装置,包括分析仪和支架,所述分析仪其内部设置有检测模块、分析模块、显示装置、吸气泵、电源和控制装置,所述分析仪表面设置有液晶显示屏、控制按键、进气口和出气口,所述进气口一端与所述吸气泵连接,另一端外接有采样手柄,所述分析仪下表面的两侧固定设置有滑块,所述支架包括支撑板和支架腿,所述支撑板上表面设置有与所述滑块结构相配合的滑槽,下表面设置挡板,所述挡板位于所述支架腿上端的两侧,所述挡板的中心处和所述支架腿的上端设置有结构相同的通孔,所述挡板的外侧分别设置有限位板a和限位板b,所述限位板a与所述支撑板下表面固定连接,所述限位板b与所述支架腿固定连接,所述限位板a和所述限位板b的中心位置分别设置有与所述通孔直径相同的圆形凹槽和螺孔,所述支架腿上端、所述限位板a、所述限位板b和所述挡板之间通过连接螺丝连接,所述通孔内未设置螺纹,所述圆形凹槽和所述螺孔内表面设置有与所述连接螺丝相配合的螺纹,所述支架腿的下端设置有高度调节装置。

所述滑槽之间设置有锂电池。

所述支撑板的两侧分别设置有紧固螺丝,所述紧固螺丝穿过所述滑槽与所述滑块连接。

所述通孔、所述螺孔和所述圆形凹槽的直径相同,其中心位于同一直线上。

所述圆形凹槽的深度为所述限位板a厚度的一半。

所述的支架腿有三个,分别均匀设置在所述支撑板的下端。

所述支架腿的下端设置有高度调节装置,高度调节装置包括第一支杆、第二支杆、紧固块和调节螺丝,所述第一支杆位于所述第二支杆外端,所述第一支杆下端固定设置有紧固块,所述紧固块上设置有调节螺丝,所述调节螺丝穿过所述第一支杆与第二支杆接触。

本实用新型的有益效果:本实用新型采用了在挡板的两侧设置限位板a和限位板b,限位板a和限位板b与连接螺丝螺纹连接,并且分别固定设置在支撑板和支架腿上,通过改变连接螺丝与限位板a之间连接,进而完成对支架腿以连接螺丝为圆心所做的圆周运动进行限位,提高了支架的调节范围和连接效果,解决了由于质量分析仪器的支架调节范围有限且调节很不方便,在接触面凹凸不平时很容易引起晃动,进而影响分析结果或导致仪器损坏的问题;总的,本实用新型具有操作便捷且连接稳固可靠的优点。

附图说明

图1是本实用新型的主视图。

图2是本实用新型中支撑板的俯视图。

图3是本实用新型中支撑板和支架腿连接处的局部结构图。

图4是本实用新型中支撑板和支架腿连接处的剖视图。

图5是本实用新型中分析仪内部的方框连接图。

图中:1、分析仪11、液晶显示屏12、控制按键13、进气口14、出气口15、滑块2、支架21.支撑板211、滑槽212、紧固螺丝22支架腿23、挡板231、通孔24、限位板a241、圆形凹槽25、限位板b251、螺孔26、连接螺丝27、高度调节装置271、第一支杆272、第二支杆273、紧固块274、调节螺丝3、锂电池。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。

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