[实用新型]一种加药机

权利要求书

1.一种加药机，用于为晶圆切割设备提供混合药液，其特征在于，所述加药机包括：

切割水进水管(1)；

药液混合管(2)，所述药液混合管(2)包括第一进液口、第二进液口以及出液口，所述出液口与所述晶圆切割设备(3)的进液口连通，所述第一进液口与所述切割水进水管连通；

传感器(4)，所述传感器(4)设置在所述切割水进水管(1)内；

控制器(5)，所述控制器(5)与所述传感器(4)连接；

加药系统，所述加药系统包括加药系统出液口以及控制端，所述加药系统出液口与所述第二进液口通过管路连接，所述控制端与所述控制器连接；

流量计(6)，所述流量计(6)设置在所述加药系统出液口与所述第二进液口连通的管路中，所述流量计(6)与所述控制器连接；其中，

所述传感器(4)用于检测是否有液体流过，并将信号传递给所述控制器；

所述控制器(5)用于根据所述传感器传递的信号向所述加药系统传递工作信号；

所述加药系统用于根据所述控制器的控制从而工作；

所述流量计(6)用于检测流经所述流量计的液体流量。

2.如权利要求1所述的加药机，其特征在于，所述加药机进一步包括报警装置(7)，所述报警装置(7)与所述控制器连接。

3.如权利要求2所述的加药机，其特征在于，所述加药机进一步包括单向阀(8)，所述单向阀(8)设置在所述加药系统出液口与所述第二进液口连通的管路中。

4.如权利要求3所述的加药机，其特征在于，所述单向阀(8)包括单向阀进液口以及单向阀出液口，所述流量计(6)设置在所述单向阀进液口与所述加药系统之间。

5.如权利要求4所述的加药机，其特征在于，所述加药系统包括：

药液箱(9)，所述药液箱(9)包括一个药液箱出液口；

加药泵(10)，所述加药泵(10)包括加药泵进液口、所述加药系统出液口以及所述控制端，所述加药泵进液口与所述药液箱出液口连通。

6.如权利要求5所述的加药机，其特征在于，所述加药机进一步包括浓度传感器，所述浓度传感器设置在所述药液混合管的出液口与所述晶圆切割设备的进液口之间。

7.如权利要求2所述的加药机，其特征在于，所述报警装置包括倒流报警灯以及流量报警灯。

8.如权利要求1所述的加药机，其特征在于，所述药液混合管为静态混合器。