[实用新型]一种具有高效吸收膜的太阳能光热板

权利要求书

1.一种具有高效吸收膜的太阳能光热板，其特征在于，包括：太阳能光热板主体(1)、设于所述太阳能光热板主体(1)上的板芯基片(2)以及溅镀于所述板芯基片(2)表面的高效吸收膜(3)；

所述高效吸收膜(3)包括：结合层(31)、辅助吸收层(32)、低发射层(33)、高吸收层(34)、减反保护层(35)；所述结合层(31)溅镀于所述板芯基片(2)上；所述辅助吸收层(32)溅镀于所述结合层(31)上；所述低发射层(33)溅镀于所述辅助吸收层(32)上；所述高吸收层(34)溅镀于所述低发射层(33)上；所述减反保护层(35)溅镀于所述高吸收层(34)上；所述高吸收层(34)由SiTiAlN_x组成，其四种元素的原子比为1：0.5～1：0.5～2：1～2。

2.根据权利要求1所述的具有高效吸收膜的太阳能光热板，其特征在于，所述结合层(31)由Si₃N₄组成，其厚度为10nm至20nm。

3.根据权利要求1所述的具有高效吸收膜的太阳能光热板，其特征在于，所述辅助吸收层(32)由CrN组成，其厚度为5nm至10nm。

4.根据权利要求1所述的具有高效吸收膜的太阳能光热板，其特征在于，所述低发射层(33)由Au、Ag、Cu、Al、Pt以及Cr中的一种组成，其厚度10nm至30nm。

5.根据权利要求1所述的具有高效吸收膜的太阳能光热板，其特征在于，所述高吸收层(34)的厚度为40nm至80nm。

6.根据权利要求1所述的具有高效吸收膜的太阳能光热板，其特征在于，所述减反保护层(35)包括上材料层(351)和下材料层(352)，所述上材料层(351)位于所述下材料层(352)上方；所述下材料层(352)溅镀于所述高吸收层(34)上。

7.根据权利要求6所述的具有高效吸收膜的太阳能光热板，其特征在于， 所述上材料层(351)由SiO₂组成，其厚度为10nm至50nm。

8.根据权利要求6所述的具有高效吸收膜的太阳能光热板，其特征在于，所述下材料层(352)由ZnO组成，其厚度为10nm至30nm。

9.根据权利要求1所述的具有高效吸收膜的太阳能光热板，其特征在于，制备所述高吸收层(34)所需的靶材为陶瓷靶材或SiAlTi合金靶材。