[实用新型]一种具有高效吸收膜的太阳能光热板

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能板材技术领域，具体地，涉及一种具有高效吸收膜的太阳能光热板。

背景技术

目前，市面上的太阳能平板热水器所用的光热板一般在板芯基片表面进行了镀膜处理，通常镀膜为氮氧化钛、二氧化钛、氮化硅以及二氧化硅薄膜的结合，利用镀膜来提高光热板的光热吸收率以及保护光热板的表面。在镀膜过程中制备高吸收层氮氧化钛薄膜，一般使用陶瓷靶材，通入氧气作为反应气体，通过溅镀的方式将靶材上的原子撞击出来并在光热板的基板上形成镀膜，但以这种方法镀膜的过程中生成的副产物难以控制，且膜层组成容易不稳定，使太阳能光热板的光热吸收率低，而对应的陶瓷靶材需要根据原子比需求订制，价格昂贵，增加太阳能光热板的生产成本。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供一种低成本且吸收率高的具有高效吸收膜的太阳能光热板。

本实用新型公开的一种具有高效吸收膜的太阳能光热板，包括：太阳能光热板主体、设于所述太阳能光热板主体上的板芯基片以及溅镀于所述板芯基片表面的高效吸收膜；

高效吸收膜包括：结合层、辅助吸收层、低发射层、高吸收层以及减反保护层；结合层溅镀于板芯基片上；辅助吸收层溅镀于结合层上；低发射层溅镀于辅助吸收层上；高吸收层溅镀于低发射层上；减反保护层溅镀于高吸收层上；高吸收层由SiTiAlN_x组成，其四种元素的原子比为1：0.5～1：0.5～2：1～2。

根据本实用新型的一实施方式，结合层由Si₃N₄组成，其厚度为10nm至20nm。

根据本实用新型的一实施方式，辅助吸收层由CrN组成，其厚度为5nm至10nm。

根据本实用新型的一实施方式，低发射层由Au、Ag、Cu、Al、Pt以及Cr中的一种组成，其厚度10nm至30nm。

根据本实用新型的一实施方式，高吸收层的厚度为40nm至80nm。

根据本实用新型的一实施方式，减反保护层包括上材料层和下材料层，上材料层位于下材料层上方；下材料层溅镀于高吸收层上。

根据本实用新型的一实施方式，上材料层由SiO₂组成，其厚度为10nm至50nm。

根据本实用新型的一实施方式，下材料层由ZnO组成，其厚度为10nm至30nm。

根据本实用新型的一实施方式，高吸收层制备所需靶材为陶瓷靶材或SiAlTi合金靶材。

本实用新型区别于现有技术的有益效果是：本实用新型的太阳能光热板具有由结合层、辅助吸收层、低发射层、高吸收层以及减反保护层构成的高效吸收膜，其高吸收率和低发射率的性能使太阳能光热板具备更优秀的光热转化效率，其中高吸收层以SiTiAlN_x取代传统的TiON_x，提高高吸收层制备过程中的膜层组成的稳定性，以及降低了制备过程中所使用的靶材的成本，降低了太阳能光热板的生产成本。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为实施例中的具有高效吸收膜的太阳能光热板的结构示意图；

图2为实施例中的高效吸收膜的结构示意图。

附图标记说明：1、太阳能光热板主体；2、板芯基片；3、高效吸收膜；31、结合层；32、辅助吸收层；33、低发射层；34、高吸收层；35、减反保护层；351、上材料层；352、下材料层。

具体实施方式

以下将以图式揭露本实用新型的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本实用新型。也就是说，在本实用新型的部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化图式起见，一些习知惯用的结构与组件在图式中将以简单的示意的方式绘示之。

需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

实施例：