[实用新型]用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备、以及太阳能电池生产设备

权利要求书

1.一种用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备，所述设备包括：

工艺头部组件，所述工艺头部组件包括：

一个或更多个沉积装置，所述一个或更多个沉积装置被配置为用于将所述材料从丝网传送到所述基板；和

一个或更多个材料处理装置，所述一个或更多个材料处理装置被配置为用于处理所述丝网上的所述材料；

驱动装置，所述驱动装置被配置为用于沿着基板支撑件在第一方向上移动所述工艺头部组件，以便在沉积工艺过程中传送和处理所述材料。

2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述丝网设置在所述基板支撑件与所述工艺头部组件之间，其中所述一个或更多个沉积装置包括刮板，并且其中所述刮板被配置为与所述丝网接触以进行印刷。

3.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述一个或更多个材料处理装置至少包括第一材料处理装置和第二材料处理装置，其中所述一个或更多个沉积装置中的至少一个沉积装置定位在所述第一材料处理装置与所述第二材料处理装置之间。

4.如权利要求3所述的设备，进一步包括一个或更多个第一致动器，所述一个或更多个第一致动器被配置为调整所述一个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置与所述丝网之间的距离，其中所述一个或更多个第一致动器包括第一致动器单元和第二致动器单元，所述第一致动器单元被配置为调整所述第一材料处理装置与所述丝网之间的第一距离，所述第二致动器单元被配置为调整所述第二材料处理装置与所述丝网之间的第二距离。

5.如权利要求1所述的设备，

其中所述工艺头部组件包括第一工艺头部和第二工艺头部，其中所述一个或更多个沉积装置中的至少一个沉积装置附接到所述第一工艺头部，并且所述一个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置附接到所述第二工艺头部，或者

其中所述工艺头部组件包括工艺头部，其中所述一个或更多个沉积装置中的至少一个沉积装置和所述一个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置附接到所述工艺头部。

6.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备被配置为：

沿着所述基板支撑件在所述第一方向上将所述工艺头部组件至少从第一位置移动到第二位置，以便使用所述一个或更多个沉积装置中的至少一个沉积装置将所述材料从所述丝网传送到所述基板并且使用所述一个或更多个材料处理装置中的至少一个材料处理装置执行对所述丝网上的所述材料的处理，其中传送和处理在所述工艺头部组件从所述第一位置移动到所述第二位置过程中执行。

7.如权利要求6所述的设备，其特征在于，所述设备被配置为在沉积工艺的持续时间的至少一部分期间同时执行所述材料的传送和处理。

8.如权利要求6所述的设备，其特征在于，所述一个或更多个材料处理装置被配置为用于在所述丝网上提供所述材料的均匀膜。

9.如权利要求6所述的设备，其特征在于，所述设备进一步被配置为：

在与所述第一方向相反的第二方向上移动所述工艺头部组件，以便在沿所述第二方向的移动过程中执行所述材料的传送和处理。

10.如权利要求9所述的设备，其特征在于，所述设备被配置为在沿着所述第一方向移动所述工艺头部组件时使用所述一个或更多个材料处理装置中的第一材料处理装置，并且其中所述设备被配置为在沿着所述第二方向移动所述工艺头部组件时使用所述一个或更多个材料处理装置中的第二材料处理装置。

11.如权利要求10所述的设备，其特征在于，当所述工艺头部组件在所述第一方向上移动时，所述第一材料处理装置被定位在所述一个或更多个沉积装置后方，并且其中当所述工艺头部组件在所述第二方向上移动时，所述第二材料处理装置被定位在所述一个或更多个沉积装置后方。