[实用新型]一种烘干装置、光刻设备

权利要求书

1.一种烘干装置，包括具有传送开口的腔室壁、以及可关合所述传送开口的腔室门，其特征在于，还包括：位于所述腔室壁与所述腔室门所围成的腔室内的气体循环导向件，所述气体循环导向件设置于所述传送开口位置处的上侧和/或下侧；

所述气体循环导向件包括抽风器件，所述抽风器件用于将由所述气体循环导向件的气体入口进入的气体抽送至所述气体循环导向件的气体出口，所述气体循环导向件用于将所述传送开口位置处的气体导向至所述腔室内。

2.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，所述气体循环导向件还包括：设置在所述传送开口位置处上侧的第一气体循环管，所述第一气体循环管内设置有所述抽风器件；

和/或，设置在所述传送开口位置处下侧的第二气体循环管，所述第二气体循环管内设置有所述抽风器件。

3.根据权利要求2所述的烘干装置，其特征在于，所述第一气体循环管、所述第二气体循环管的出口尺寸小于入口尺寸。

4.根据权利要求2或3所述的烘干装置，其特征在于，所述第一气体循环管的出口朝向所述腔室的顶面，入口朝向所述腔室的底面；

所述第二气体循环管的入口朝向所述腔室的顶面，出口朝向所述腔室的底面，或，所述第二气体循环管的入口朝向所述腔室的底面，出口背离具有所述传送开口的腔室侧壁。

5.根据权利要求2所述的烘干装置，其特征在于，所述第一气体循环管与所述第二气体循环管的入口宽度大于或等于所述传送开口高度的二分之一。

6.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，所述抽风器件为抽风风扇。

7.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，所述烘干装置还包括设置在所述腔室壁内的供热组件，所述供热组件包括导热件以及吹风风扇。

8.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，所述烘干装置还包括排风管道，所述腔室壁上设置有排风口，所述排风管道与所述排风口相连接。

9.根据权利要求1所述的烘干装置，其特征在于，所述烘干装置的一腔室壁上设置有多个传送开口，所述腔室门的个数为多个，所述一腔室门可关合一传送开口；

其中，所述腔室壁与多个所述腔室门围成多个腔室。

10.一种光刻设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的烘干装置。