[实用新型]高温、真空环境工件旋转支承盘的精确定位与控制系统有效

专利信息
申请号: 201720492571.0 申请日: 2017-05-05
公开(公告)号: CN206839929U 公开(公告)日: 2018-01-05
发明(设计)人: 高贵斌 申请(专利权)人: 北京中科科美科技股份有限公司
主分类号: B25B11/00 分类号: B25B11/00
代理公司: 北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙)11210 代理人: 徐娟
地址: 100000 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 高温 真空 环境 工件 旋转 支承 精确 定位 控制系统
【权利要求书】:

1.一种高温、真空环境工件旋转支承盘的精确定位与控制系统,包括真空腔室(8),支承公转盘(5),所述支承公转盘(5)通过传动机构(11)安装在腔室底盘(3)上,所述传动机构(11)下方连接有电机(12),其特征在于,所述腔室底盘(3)的真空外一侧安装有激光测距传感器(1),所述腔室底盘(3)上安装有与所述激光测距传感器(1)对应的玻璃观察窗(2);所述支承公转盘(5)上固定安装有用于触发所述激光测距传感器(1)的开关触发块(4)以及用于支撑并带动工件(7)旋转的工件卡具(6)。

2.根据权利要求1所述的一种高温、真空环境工件旋转支承盘的精确定位与控制系统,其特征在于,所述激光测距传感器(1)安装在所述腔室底盘(3)真空外一侧与工序一工位(10)以及工序二工位(9)位置对应处。

3.根据权利要求2所述的一种高温、真空环境工件旋转支承盘的精确定位与控制系统,其特征在于,所述开关触发块(4)通过螺栓安装在所述支承公转盘(5)上。

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